お客様のご来店を歓迎します!

会員資格

助け

広州競勝化工科技有限公司
カスタム製造元

主な製品:

mechb2b>製品
製品分類

広州競勝化工科技有限公司

  • メール

  • 電話番号

    13380036316

  • アドレス

    広州市天河区燕嶺路25号1009室

今すぐ連絡してください

108イオンスパッタリング装置

ネゴシエーション可能更新03/12
モデル
メーカーの性質
生産者
製品カテゴリー
原産地

概要

108は構造がコンパクトな卓上型めっきシステムであり、特に走査電子顕微鏡イメージングにおける非導電性試料の高品質めっきに適している

製品詳細

108は構造がコンパクトな卓上型めっきシステムであり、特に走査電子顕微鏡イメージングにおける非導電性サンプルの高品質めっきに適している。

主な特徴

  • 高効率低圧直流マグネトロンヘッドによる冷態微細な溶射過程により、サンプル表面の損傷を回避する。
  • 操作は容易で迅速であり、制御するパラメータには排気及びアルゴン換気制御が含まれる。
  • MTM−10高分解能膜厚制御器(オプション)を用いて、めっきされた膜の厚さを正確に測定することができる。
  • デジタル化された溶射電流制御はサンプル室内のアルゴン圧力の影響を受けず、均一なめっき速度と最適なめっき効果を得ることができる。
  • 多種の金属ターゲット:Au、Au/Pd、、Pt、、Pt/Pd(Auターゲットは標準装備)を使用でき、ターゲットの交換が迅速で便利である。

技術パラメータ

スパッタシステム

サンプルチャンバサイズ

ちょつけい120mmx120mm 高い

ターゲットざいりょう

標準金Auターゲット、Ptその他のターゲットを選択可能

サイズ:直径57mmx0.1mm厚み

サンプルテーブル

マウント可能12SEMサンプルシート、高さ調整可能範囲は50mm

スパッタ制御

マイクロプロセッサ制御、セキュリティインターロック

スパッタ電流

5~45mA調整可能

スパッタヘッド

低電圧平面マグネトロン、ターゲットの交換が速く、暗部カバーを取り囲む

ゲージ台

真空:Atm - 0.001mbar、電流:0~50mA

厚さモニタ
(
オプション)

使用MTM-10高分解能厚さモニタ(オプション)によるめっき膜の厚さの正確な測定

制御方法

ガス換気とガス排出機能を備え、「一時停止」制御付きデジタルタイマー(5300s

しんくうシステム

しんくうポンプ

2段直結式高速真空ポンプ

抽気速度

3.0 m3/時間 、真空度が0.1mb所要時間30.

げんかいしんくう

5 x 10-3mba

卓上システム

真空ポンプは耐震ステージ上に置くことができ、全金属集積結合システム

銅メッシュ炭素めっきによる負染色タンパク質サンプルの製造例