CVDシステム管式炉

GR.TFシリーズ真空管式炉の詳細

GR.TFシリーズ真空管式炉は、合理的な性能設計を持ち、多くの機能を一身に集め、安全性、信頼性、実用性はいずれも理想的な効果を達成している。

1、温度1100℃-1800℃、加熱領域は300 mmである。

2、炉体は二層炉殻構造を採用し、二層炉殻の間にファンが設置され、温度を急速に昇降でき、炉殻の表面温度が低い。

3、炉管は高純度石英管または剛玉管を採用し、両端はSUS 304高真空フランジで密封した。

4、炉胴材料は良質な輸入アルミナ多結晶繊維を真空吸着して製造し、伝統的な硬質炉胴材料電気炉と比べて省エネ性が明らかに向上し、強い耐急冷急冷性を有し、1100℃電気炉胴は上下の2つの部分から構成され、その中の上部炉胴は全体的に110℃後方に反転でき、1100℃以上の電気炉胴は一体式であり、実験材料の出し入れ、炉管の交換に便利である。加熱素子はスウェーデンのコンタイル抵抗線、シリコン炭素棒、シリコンモリブデン棒を用いた。

5、電気炉温度制御システムは人工知能調節技術を採用し、計器制御精度は±1℃であり、PID調節、ファジィ制御、自己整定能力を有し、各種昇温プログラムを編成でき、超高温警報機能を有し、熱電対損傷停電機能を有し、内蔵パラメータ暗号制御機能を有する。

6、昇温速度≦30℃/min（昇温速度≦10℃/minを提案）、30段の自動昇温プログラムを作成でき、シリコン制御ができ、デジタルLED電圧計、電流計を搭載する。

7、RS-485通信インタフェースを選択的に配置でき、データ管理ソフトウェア、紙なしで履歴データと昇温曲線を記録し、温度偏差誤差を補正する機能を有し、複数の設備と遠隔故障診断分析を管理することができる。

8、多種の安全防護設計、安全性能が良く、使用寿命が長い。

9、電気炉は真空を引き出し、雰囲気を通すことができ、真空度は10 pa（機械ポンプ）に達することができ、より高い真空度が必要なら分子ポンプを選択し、6.67 x 10-3 paに達することができる。

標準構成：

1、304ステンレスフランジ1セット

2、シールリング4個

3、ストーブ栓2本

4、ストーブフック1本

5、説明書、保証カード、合格証1セット

6、石英管又はコランダム管1本

高真空ポンプユニット（分子ポンプユニット）

GR-620/GR-500 F型シリーズ複合分子ポンプユニットはF 160/620シリーズの各性能複合分子ポンプまたはFF-160/500 Fシリーズ複合分子ポンプ、前段抽気ポンプ、遮断放気弁、前段管路、断水保護器、分子ポンプ電源、高真空検出システム（複合真空計）、制御電源などをラックに組み付けた清浄な超高真空獲得設備である。取り付けが便利で、操作が簡単で、結合が容易で、性能が信頼でき、表面分析、加速器技術、半導体装置、プラズマ技術、電気真空装置の製造及び真空技術の各分野に広く使用できる。

FJ-620分子ポンプユニットの技術性能：

GR.TFシリーズ真空管式炉型式及び規格