乾式超音波洗浄機USC

主な技術パラメータ

ゆうこうせんじょうながさ

0〜700mm

さぎょうふうあつ

12〜18KPa

ダストヘッドからワークまでの距離

5 mm以内、1.5 mm

ダストヘッドからシャーシまでのパイプの長さ

5メートル以内

せいじょうこうりつ

3 umダスト97%、6 umダスト98%のクリアランス

吐出風温度

より小さい45℃

ノイズ

より小さい80デシベル

動作電圧

3相380 V 50/60 Hz（三相オプション 220V）

デバイス機能

温度モニタフィードバック、風圧モニタフィードバック、周波数モニタ、MES接続が可能

試験条件と

検収方法

試験条件： 100 レベルクリーンルーム完成、作業高さ 1.5mm、さぎょうきあつ14KPa，洗浄速度80 mm/s、3 um スペーサー粉。

検収方法：清浄な洗浄ガラスにスペーサー粉を散布し、領域を目視する 120-150粒、200 倍顕微鏡検査、クリアランス 97%以上。

使用環境

万級以下の乾燥クリーン工場が必要