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FMSZ-Pシリーズ-圧電モーター昇降台

ネゴシエーション可能更新01/09
モデル
メーカーの性質
生産者
製品カテゴリー
原産地

概要

超高精度垂直昇降台

製品詳細

電動変位台選択ガイド Feinixsシリーズ製品命名規則 変位制御の基本概念
FMSZ-Pシリーズ-圧電モーター昇降台
超高精度垂直昇降台

詳細仕様パラメータ
画像
製品分類 圧電モーター昇降台 圧電モーター昇降台
製品型番 FMSZ115P-50 FMSZ85P-20
外形寸法 115x115x110 85x85x85
メサ寸法(mm) 115x115 85x85
持続推力(N) 40 20
ピーク推力(N) 40 20
ストローク(mm) 50 20
最大速度(mm/s) 5 5
負荷(Kg) 2 1
解像度(um) 0.1 0.1
最小変位量(um) 0.2 0.2
一方向繰り返し位置決め精度(um) ±0.5 ±0.5
双方向繰り返し位置決め精度(um) ±1 ±1
位置決め精度(um) ±2 ±2
直線度(um) 5 5
平行度(um) 5 5
ヨー(”) 10 10
ピッチ(”) 10 10