HEIDENHAIN格子尺LS 487 C ML 220 MM

HEIDENHAIN格子尺LS 487 C ML 220 MM
格子測定変位の実質的な測定は、格子格子距離を基準スケールとして位置測定を行うことである。高解像度の格子定規は一般的にコストが高く、製造が難しい。システムの解像度を高めるためにはモアレ縞を細分化する必要があり、格子尺センサーシステムは電子細分化方法を採用することが多い。2つの格子が微小傾斜角で重なると、格子目盛線に略垂直な方向にモアレ縞が発生し、格子の移動に伴ってモアレ縞も上下に移動する。これにより、格子格子ピッチの測定をモアレストライプ個数の測定に変換する。1つのモアレストライプ幅内に、4つの光電デバイスを一定の間隔で配置することで、電子細分化と逆方向化機能を実現することができます。例えば、ゲート線は50線対/mmの格子定規であり、その格子格子格子距離は0.02 mmであり、4分割を採用すると解像度5μmのカウントパルスを得ることができ、これは工業一般の測定制御において非常に高い精度に達している。変位はベクトルであり、その大きさを検出し、方向を検出するためには、少なくとも2つの位相の異なる光電信号が必要です。コモンモード干渉、直流成分、偶数高調波を除去するために、通常は低ドリフトキャリアからなる差動増幅器が用いられる。4つの感光素子から得られた4ウェイの光電信号はそれぞれ2つの差動増幅器入力端に送られ、差動増幅器から出力された2ウェイの信号はその位相差がπ/2であり、逆方向とカウントパルスを得るためには、この2ウェイの信号を整形する必要があり、まずそれらをデューティ比1:1の方波に整形する。そして、方形波の位相を判別比較することで、ラスタスケールの移動方向を得ることができる。相手波パルスを計数することで、格子尺の変位と速度を得ることができる。
ラスタスケールセンサを取り付ける場合、ざらざらした工作機械に直接センサを取り付けることはできず、下地塗装の工作機械に取り付けることもできない。ラスタマスタ及びリードヘッドはそれぞれ工作機械の相対運動する2つの部品に取り付けられている。工作機械テーブルの主尺取付面とガイドレール運動の方向平行度をマイクロメーターで検査する。ダイヤルゲージはベッドに固定し、テーブルを移動し、平行度が0.1 mm/1000 mm以内であることを要求した。この要件を満たすことができない場合は、ラスタスケールベースを設計して加工する必要があります。ベースには、（1）ラスタスケールの胴長さと等しいベースを追加する必要があります（ベースはラスタスケールから50 mmほど長い）。（2）このベースはフライス、研磨工程により加工し、その平面平行度0.1 mm/1000 mm以内を保証する。また、1枚とシャフトベースなどの高いリードヘッドベースを加工する必要があります。読取ヘッドのベースと尺身のベースの合計誤差は±0.2 mmを超えてはならない。取り付け時、読取ヘッドとラスタ尺身の平行度が0.1 mm程度、読取ヘッドとラスタ尺身の間隔が1 ~ 1.5 mm程度になるように読取ヘッドの位置を調整する。
HEIDENHAIN格子尺LS 487 C ML 220 MM
ラスタ線変位センサの設置が完了すると、デジタル時計をオンにし、テーブルを移動し、デジタル時計の計数が正常かどうかを観察することができる。ワークセルで基準位置を選択し、選択した位置まで作業点を往復移動します。数値表示テーブルの読み取りは同じ（またはゼロに戻す）である必要があります。また、パーセンテージテーブル（またはパーセンテージテーブル）を使用して、パーセンテージテーブルとデジタルテーブルを同時にゼロにする（または開始データを記憶する）こともでき、何度も往復した後に初期位置に戻り、デジタルテーブルとパーセンテージテーブルのデータが一致しているかどうかを観察することができます。以上の作業により、格子尺線変位センサの取り付けが完了します。しかし、一般的な工作機械の加工環境にとって、鉄くず、切削液及び油汚れが多い。そのため、センサは取り付け保護カバーを付属すべきで、保護カバーの設計はセンサの外形断面の拡大によって一定の空間寸法を残して確定して、保護カバーは通常消しゴムシールを採用して、それに一定の防水油防止能力を備えさせます