高純度ガス分析システム

GC-9560-HG高純度ガス分析システムは高純度ガスと電子工業用ガス中の微量不純物の検出に適しており、Z小検出濃度は5 ppbに達することができる。計器は高感度のヘリウムイオン化検出器を備え、華愛会社*の中心切断技術を採用し、注入弁はすべてパージ保護ガス路を備えている、全機は多柱箱設計を採用し、注入圧力自動補正システムを搭載し、異なる底ガスのサンプルの注入量*を保証する。製品は前後して上海市ハイテク成果転化A級プロジェクト、上海市重点新製品、上海市トーチ計画と2009科学機器優秀製品などの称号を獲得した。

GC-9560-HG高純度ガス分析システム高純度水素、酸素、アルゴン、窒素、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン、二酸化炭素などのガス中の微量不純物の検出に適して、器具は高感度のヘリウムイオン化（PDHID）検出器を備えて、中心切断と逆吹付け技術を採用して、掃き保護ガス路を有するサンプリング切換弁と輸入ヘリウムガス精製器を配置して、無死体積サンプリング或いはオンラインサンプリング方式を通じて、一度に上述の高純度ガス中のHを完成する₂、O₂（Ar）、N₂、CH₄、CO、CO₂等の一般的な不純物又はC₁-C₄などの炭化水素化合物の検出、検出限界はppb級に達し、繰り返し性RSD≦1%である。

華愛クロマトグラフィーが主要な起草任務を担う国家標準GB/T 28726-2012「ガス分析ヘリウムイオン化ガスクロマトグラフィー」が2013年02月01日から正式に公布、実施された。

一、適用基準：

GB/T 3634.2-2011「純水素、高純水素と超純水素」GB/T 14599-2008「純酸素、高純酸素と超純酸素」
GB/T 8979-2008「純窒素、高純窒素と超純窒素」GB/T 4842-2006「アルゴン」
GB/T 4844-2011「純ヘリウム、高純度ヘリウムと超純度ヘリウム」GB/T 17873-1999「純ネオン」
GB/T 5829-2006「クリプトンガス」GB/T 5828-2006「キセノンガス」
HG/T 3633-1999「純メタン」GB 10621-2006「食品添加物液体二酸化炭素」
GB/T 23938-2009「高純二酸化炭素」GB/T 28125.1-2011「空分工程における危険物質の測定」

二、技術パラメータ：

1、検出限界（ppb）：

いっぱんふじゅんぶつ
雑貨の種類	H2	O2（Ar）	N2	CH4	CO	CO2
けんさ測定制限	5	10	10	5	25	5

たんかすいそかごうぶつ
不純物の種類	C2H4	C2H6	C3H6	C3H8	C4H8	C4H10	iC4H10
けんさ測定制限	20	20	20	20	20	20	20

2、温度制御指標：

• 柱箱：室温で8℃－400℃精度±0.1℃
• 注入器：室温で8℃－400℃精度±0.1℃
• 検出器：室温上8℃－400℃精度±0.1℃
• 温度制御数：8ウェイ
• プログラム昇温：8次
• 昇温速度：1℃~ 40℃
• 降温速度：7分以内（350℃〜50℃）

3、ヘリウムイオン化検出器（PDD）：

• 放電モード：パルス放電
• ベースラインノイズ：≦0.1 mv
• ベースラインドリフト：≤0.5 mv/30 min
• 測定限界：≤1.0×10-10 g/ml

4、キャリアガス精製器：

• 精製可能ガス：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
• zui大操作圧力：1000 Psi
• 除去ガス：H₂、O 2、N 2、CO、CO 2、CH 4、H 2 O、NO、NH 3、CF 4等
• 残留濃度：≦10 ppb

5、ワークステーションの性能：

• 通信インタフェース：RS 232/USBインタフェース
• 高精度：24ビットの高精度A/D
• 解像度：±1 uv
• 入力レベル範囲：-5 mvから+1 v
• サンプリング周波数：zui高20回/秒
• ダイナミックレンジ：106
• 積分感度：1μv・sec
• 線形度：<±0.1%。
• 再現性：0.06%。

6、その他のパラメータ：サイズ、重量、電源：

• サイズ：幅655 mm×高さ500 mm×奥行き480 mm
• 重量：～48 kg
• 電源：220 V±22 V、50 Hz、電力≧2 kW

三、システム構成：

（1）GC−9560−HG高純度ガス分析システム（2）ヘリウムイオン化検出器（PDHID）
（3）中心切断システム（4）多柱箱システム
（5）ヘリウム精製器（6）標準ガス
（7）カラム（9）酸素吸着と還元システム
（10）キャリアガス専用減圧弁（11）デッドボリューム専用サンプリング弁
（12）GC-9560 V 4.0版リバースクロマトグラフィーワークステーション