低温冷凍サイクル−25℃〜30℃

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概要

低温冷凍サイクル−25℃〜30℃の使用範囲：$r$nによる半導体製造装置の発熱部の冷却：$r$n単ウェハ洗浄転載、印刷機、オートクランプ取付装置、スプレー装置、イオンプレーティング装置、エッチング装置、単ウェハ処理装置、ダイシング機、包装機、現像剤の温度管理、露光装置、磁気発生部の加熱装置など。

製品詳細

低温冷凍サイクル−25℃〜30℃

使用範囲：
半導体製造装置の発熱部の冷却：
単ウェハ洗浄転載、印刷機、自動チャック取付装置、スプレー塗布装置、イオンプレーティング装置、エッチング装置、単ウェハ処理装置、スライス機、包装機、現像剤の温度管理、露光装置、磁気発生部の加熱装置など。
レーザ装置の発熱部分の冷却：
レーザー加工、溶接機の発熱部分、レーザーマーク装置、発生装置、二酸化炭素レーザー加工機など。
その他の産業用機器の発熱部分の冷却：
プラズマ溶着、自動包装機、金型冷却、洗浄機械、金メッキ槽、精密研磨機、射出成形機、樹脂成形機の成形部分など。
低温冷凍サイクル−25℃〜30℃の発熱部分の冷却：
電子顕微鏡の光源、ICP発光分光分析装置の光源部分、分光光度計の発熱部分、X線解析装置の熱源、自動パルス振幅変調器の発熱部分原子吸光光度計の光源など。
製品概要
？？水資源を節約し、エチレングリコール混合液の水を用いて循環冷却を行い、資源を節約することができる、厳密な循環管路設計、循環水汚染防止、循環水の使用時間延長、
？？高性能循環ポンプで、毎日24時間連続運転を保証できる、
？？PID温度制御技術、PT 100センサー航空プラグインを内蔵し、温度制御の正確性を保証し、
？？成熟した無フッ素冷凍技術、
？？自己診断機能、冷凍機の過負荷保護、高圧圧力スイッチ、過負荷リレー、熱保護装置などの多種の安全保障機能、

技術指標：

モデル		LX-250	LX-0400型	LX-0700型	LX-1000	LX-1450型	LX-2000型
温度制御範囲		-15℃～30℃	-25℃～30℃
コンプレッサー		エンブラコ.		アメリカンバレー
蒸発器		プレート式冷熱交換器
冷媒		R-404A
コントローラー		液晶表示設定温度と測定温度、タッチボタン入力
センサー		PT100
れいとうりょう	0	1.5kW	2.4kW	4kW	7.5kW	10kW	15.5kW
	-10	1kW	1.5kW	2.7キロワット	6.3kW	8kW	12kW
	-20	0.55kW	0.8kW	1.5kW	3.5kW	5kW	7.3kW
循環ポンプ流量、圧力		最大20L/分 0.7BAR	最大20L/分 0.7BAR	最大35L/分 1バー	最大50L/分 1BAR	最大75L/分 1BAR	最大75L/分 1BAR
ちょすいようせき		15L	25L	30L	35L	45L	60L
あんぜんほご		自己診断機能があり、冷凍機の過負荷保護、高圧圧力スイッチ、過負荷リレー、熱保護装置などの多種の安全保障機能。
インタフェース寸法		DN-15	DN20	DN20	DN20	DN20	DN-20
外形寸法		4006001050	4006001150	5006801350	5506801450	6206801550	7507501750
重量		115キロ	145キログラム	180キログラム	225キロ	290キロ	340キロ
電源		AC220V 50HZ 1.5kW（最大）	AC220V 50HZ 2.2kW（最大）	AC220V50HZ 3.5kW（最大）	AC380V 50HZ 4kW（最大）	AC380V 50HZ 5kW（最大）	AC380V50HZ 6.5kW（最大）
外装材質		コールドローリングプレートスプレー成形
コントローラオプション		5.7インチ10インチカラータッチスクリーン温度記録印刷
電源オプション		220 V 60 HZ三相、440 V～480 V 60 HZ三相
スプレー成形オプション		テフロン
防爆オプション		ExdIIBT 4またはExdIICT 4

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