分子ポンプOLED装置の真空引き

Pfeiffer ぶんしポンプにあるOLEDデバイス上のアプリケーション
上海伯東はドイツのPfeiffer普発真空の中国華東、華南地区における指定代理店であり、最近、Pfeiffer HiPace 700シリーズ分子ポンプの販売に成功し、Penta 35シリーズ2級回転板真空ポンプは国内の有名な専門家にOLED設備メーカーに従事している。そして同社が当初使用していた日本クライオポンプ（Cryo pump）の置き換えに成功した。
OLED:有機発光ダイオード（Organic Light-Emitting Diode）は、有機電気機械レーザー表示（Organic Electroluminesence Display、OELD）とも呼ばれる。OLEDは自己発光の特性を持ち、非常に薄い有機材料コーティングとガラス基板を採用し、電流が通過すると有機材料が発光し、OLED表示画面の視角が大きく、電気エネルギーを大幅に節約することができる。

お客様の事例：国内の有名な専門はOLED設備メーカーに従事して、このOLED設備は主に科学研究機構或いは大学の実験に用いられて、基本技術の要求は以下の通り：

1.キャビティ体積：約150 L程度

2.限界真空度：1 x 10^-7mbar

3.30分～1時間で5 x 10に^-5 mbar

4. Gas: Ar, O₂

このようなOLED生産装置は、加熱により材料を蒸発させる方法で、基板上に各種化合物、混合物の単層または多層膜を堆積する。主に有機半導体材料の物理化学性能研究実験、有機半導体装置の原理研究実験及びOLEDプロセス研究に用いられる。Pfeiffer Hipaceシリーズ分子ポンプとPenta 35二段ロータポンプを組み合わせることが理想的な選択である。

上海伯東プロキシのPfeiffer HiPace 700シリーズ分子ポンプには、次のような利点があります。

1.モジュール化設計原則は顧客の多様な応用ニーズを簡単に満たす

2.周波数可変駆動（TC 400）と電源供給システムを統合し、追加の制御を必要としない

3.分子ポンプは360°設置方位を提供できる

4.標準水冷集積装置

5.標準的なRS-485配線、遠隔制御を提供できる

6.防食特定型番を提供可能

7.温度センシング及び制御ユニットを有し、分子ポンプの安全で信頼性の高い運転を保護できる

8.業界最高の半導体Semi S 2およびIP 54保護レベル