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メール
huaai@huaaisepu.com
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電話
13701648494
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住所
上海市宝山区逸仙路3945号6号棟
システムパフォーマンス:
1、検出範囲及び検出限界
| 生成物の種類 | 検出範囲(µmol/モル) | 生成物の種類 | 検出範囲(µmol/モル) |
| H2 | 0.05-10000 | C3F8 | 0.05-10000 |
| O型2 | 0.05-10000 | SO2F2 | 0.1-10000 |
| N2 | 0.05-10000 | ソフ2 | 0.1-10000 |
| CH4 | 0.05-10000 | SO2 | 0.1-10000 |
| CF4 | 0.05-10000 | H2S | 0.1-10000 |
| CO 社 | 0.05-10000 | COS | 0.1-10000 |
| CO 社2 | 0.05-10000 | CS2 | 0.1-10000 |
| C2F6 | 0.05-10000 | NF3 | 0.05-10000 |
| N2O型 | 0.05-10000 |
2、技術性能:
分析周期:<20 min
大きな誤差:<3%
安定時間:<30 min
動作環境:-10~50℃
3、温度制御指標:
温度制御範囲:室温上8℃-399℃
温度制御精度:±0.1℃
プログラム昇温次数:8次
プログラム昇温速度:1℃-40℃
降温速度:7分以内(350℃-50℃)
検出器:室温で8℃-399℃精度±0.1℃
4、その他のパラメータ:サイズ、重量、電源
サイズ:幅655 mm×高さ500 mm×奥行き480 mm
重量:~48 kg
電源:220 V±22 V、50 Hz出力:≥2 kW