ターボ分子ポンプHiPace® 1200-2300

ネゴシエーション可能更新01/09

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概要

ターボ分子ポンプHiPace® 1200-2300

製品詳細

Pfeiffer普遍髪ターボ分子ポンプHiPace 1200-2300
上海伯東Pfeifferターボ分子ポンプHiPace 1200-2300, 抽気速度範囲1200-2300 l/sの全シリーズコンパクト複合軸受タービンぶんしポンプ, HiPace 1200-2300シリーズターボ分子ポンプ逆さまに取り付けることができる.小分子量ガス(H 2、He)と高分子量ガス(Ar、CF 4)の両方に対して高い抽気速度がある.

ぶんしポンプHiPace 1200-2300 l/s製品の利点
1.1200-2300 l/sからの全シリーズの抽出
2.設置角度はオプションで0°-90°と90°-180°
3. ぶんしポンプ耐食性ガス型式選択可能（C型式）
4.スロットルバルブとバルブを備えた集積浄化ガスシステム
5.電圧範囲90-265 V
6.SEMI S 2を取得し、UL，CSAおよびT嘄V認証
7.防護等級IP 54は工業環境応用要求に適合する
8.エッチング、スパッタリングなどの各種厳しいプロセスに適用し、ぶんしポンプ耐粉塵
9.集積分子ポンプコントローラTC 1200、一般電源に直接接続可能
涡轮分子泵

ぶんしポンプHiPace 1200-2300 l/s技術パラメータ：

ぶんしポンプモデル	ぶんしポンプ接続寸法DN		抽気速度l/s			あっしゅくひ	最高起動圧力hPa	きょくげんあつりょく	全回転数ガス流量hPal/s	起動時間	じゅうりょう
ぶんしポンプモデル	くうきいりぐち	はいきぐち	ちっそガス N₂	ヘリウムHe	水素ガス₂	ちっそガス N₂	窒素ガスN₂	hPa	窒素ガスN₂	min	kg
HiPace® 1200	200	40	1,250	1,300	1,100	> 1X10⁸	2	< 1X10^–7	20	2.5	27 – 40
HiPace® 1500	250	40	1,400	1,350	1,150	> 1X10⁸	2	< 1X10^–7	20	2.5	29 – 41
HiPace® 1800	200	40	1,450	1,650	1,700	> 1X10⁸	1.8	< 1X10^–7	20	4	33 – 34
HiPace® 2300	250	40	1,900	2,000	1,850	> 1X10⁸	1.8	< 1X10^–7	20	4	34 – 47

C＝耐食性ガス
T＝温度制御管理

ぶんしポンプHiPace1200-2300l/s応用分野：
1.分析機器2.半導体3.めっき膜4.工業5.研究開発

上海伯東Pfeifferターボ分子ポンプ抽気速度範囲は10〜2700 L／S、回転速度は最高90000 rpm、限界真空は最大1 E−11 mbarであり、小分子ガスに対してより高い圧縮比を有し、実践によりPfeifferターボ分子ポンプ運行時間は100000時間に達することができます！普発分子ポンプ複合軸受を提供するぶんしポンプおよび5軸全磁気浮上ぶんしポンプ二大シリーズは異なる応用を満たし、組み合わせを推薦するPfeifferロータポンプとかんそうポンプ共同使用分子ポンプの典型的な応用を推薦する>>

詳細については、ぶんしポンプ詳細は、以下の連絡先を参照してください
上海伯東：葉さん台湾伯東：王さん
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
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