可変ピッチスクリュー真空ポンプ

ネゴシエーション可能更新05/27

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概要

スクリュー乾式真空ポンプはポンプチャンバ内の一対の等速逆回転スクリューの噛合作用により、吸入ガス、圧縮ガスから排出ガスまでを完成して高真空を形成する過程である

製品詳細

スクリュー乾式真空ポンプはポンプチャンバ内の一対の等速逆回転スクリューの噛合作用により、吸入ガス、圧縮ガスから排出ガスまでを完成させて高真空過程を形成する。すなわち、2つの回転方向が反対の非接触スクリュー型ロータがポンプキャビティ内で等速逆回転する。スクリューが回転すると、スクリュー真空ポンプの入口に一定体積量のガスが吸い込まれ、ガスが圧縮されて真空ポンプの排出口に送られて排出される。ポンプの2つのスクリュー間およびスクリューとポンプ室との間には接触がないため、ポンプ室内に潤滑油は必要ありません。歯車とシャフトシールを潤滑するための潤滑油は、シャフトシールを介してポンプキャビティと密封される。ポンプの冷却は、循環冷却水によって直接冷却するか、ファン及びラジエータを備えた冷却装置によって冷却することができる。

スクリューロータは多段変ピッチ構造設計を採用し、限界真空は1 Pa以下に達することができ、大気から高真空までの各種真空処理を満たすことができる

1.スクリューロータは高強度ボールインキ鋳鉄を用いて一体鋳造し、輸入5軸連動設備を用いて加工し、高い機械精度と安定した機械性能を有する。
2.抽気チャンバは油フリー構造を採用して設計し、ガス鎮圧装置を設置し、一般的なガス、凝縮性ガス、腐食性ガス、粉塵を含むガスを抽気することができる。
3.コルゲート管機械密封と輸入PTFEリップシール及び低圧窒素シールを組み合わせて密封することにより、真空ポンプの密封性能を高め、真空ポンプの使用寿命を延長することができる。
4.内部構造設計と排気路レイアウトを最適化し、排気抵抗をさらに減少させ、真空ポンプの凝縮性物質に対する処理能力を高めることができる。
5.全体水冷構造の配置、ポンプ全体の温度上昇を下げ、真空ポンプの長期信頼運転能力を高め、各種の運転条件を満たして使用する。
6.過流部品は表面防食処理を行い、多種の異なる耐食コーティング処理を採用し、各種の特殊なプロセスに適応する。
7.他の機械真空ポンプと比較して、30%~ 35%以上の省エネ効果を達成することができる。また、ルーツ真空ポンプと組み合わせて使用することができ、省エネ効果がさらに明らかになった。

（1）工業炉／熱処理（表面硬化、焼入れ、焼結、浸炭、溶融等）
（2）化学工業、製薬
（3）めっき膜
（4）冶金
（5）漏れ検出
（6）包装印刷。
（7）乾燥プロセス
（8）排ガス回収
（9）リチウム電池
（10）太陽エネルギー
（11）電力業界
（12）マイクロエレクトロニクス業界
（13）空気圧試験

変ピッチスクリュー真空ポンプ仕様パラメータ

注：

表中に提供されるスクリュー乾式真空ポンプの冷却水量は、20℃の常温水を用いた量である。スクリュー乾式真空ポンプがバック冷却装置を使用すると冷却水量が増加し、入出水温度差は一般的に7℃以下に制御するのが望ましい。

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