YAMATOプラズマ洗浄機PDC 200/210/510 RIE・DPモード、平行平板電極

小型卓上型高周波プラズマ表面処理装置。

■操作性・機能
●無線周波数13.56 Mhz 0-300 W高出力モデル、発生器が自動的に整合し、反射波を調整する必要がなく、さらに増加した操作の利便性。
●デジタルピラニセンサーを標準装備し、リアルタイムで真空度を表示し、制御をより正確にする。
・平行平板キャビティは、キャビティ材質のためにサンプルが汚染される心配がない、比較的清浄なウエハ、シリコンウエハなどのサンプルを実験室で処理するのに最適である。

■安全性・保護
●温度、圧力、プラズマ発生器異常などの3層警報ランプを搭載し、リアルタイムで機械の運転状態を監視し、理解することができる。
●過電流漏電保護スイッチ、自己診断断回路、異常時ブザー警報などの安全機能を搭載している。

■製品のメリット
●プラズマ洗浄機は洗浄効果がよく、洗浄効率が高く、パワーが大きく、応用範囲が広い。
●洗浄サンプルに対して、材質、外観寸法などの要求は一切ありません。
●プラズマ洗浄中、温度上昇が小さく、ほぼ常温処理に達することができる。
・高効率の特製電極は、均一なプラズマを生成する保証である。
●特製電極とパレット構造で、サンプルが全面的に有効な洗浄を受けることを保証することができる。