ZJ型ルーツ真空ポンプ

ネゴシエーション可能更新05/27

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概要

ルーツ真空ポンプは機械増圧ポンプとも呼ばれ、回転式容積真空ポンプである

製品詳細

ルーツ真空ポンプは機械増圧ポンプとも呼ばれ、回転式容積真空ポンプである。2つの8字型ロータとポンプキャビティは一定の隙間を保持し、1対の同期逆回転ギアを通じて2つのロータをポンプキャビティ内で回転させる際に互いに接触せず、一定の隙間を保持する。右図はポンプの構造原理図であり、図IからIVはロータがポンプチャンバ内で回転し、1回の吸引、排気を完了する過程である。

回転速度が高く、容積効率が高い。
構造が簡単で、操作、メンテナンスが便利です。
ロータはロックされ、軸方向直動現象はない。
高精度伝動歯車と良好な動平衡を採用し、騒音が低く、運転が安定している。
機械密封を採用し、ポンプ室は油フリー構造であり、一般空気及び各種特殊ガスの吸引除去に適している。
他の機械真空ポンプと比較して、省エネ。
各種類の前段ポンプとセットにすることができ、各種類の技術範囲に広く応用することができる。
空冷方式と水冷方式を採用して異なるモード要求を満たすことができる。

ルーツ真空ポンプの利点は、低い入口圧力の場合でも大きな抽気速度を持つが、ルーツ真空ポンプは単独では使用できず、前段真空ポンプとセットで使用しなければならない。現在の段の真空ポンプはシステム圧力をルーツ真空ポンプの起動圧力に引き出した時、ルーツ真空ポンプを起動することができる。

異なる作動圧力とプロセス条件に応じて、ルーツ真空ポンプの前段真空ポンプはオイルシール式機械真空ポンプ、液環式真空ポンプ、往復式真空ポンプなどを採用することができる。異なる種類の前段真空ポンプを配置した後、ルーツ真空ポンプが達成できる限界圧力は異なる。

ルーツ真空ポンプは、大抽気速度と中真空（10−1−10−2 Pa）を必要とする任意の真空システムに広く応用することができ、例えば、真空めっき、真空溶接炉、真空熱処理炉、大型空間シミュレーション試験、ランプ及び電球製造、レーザ製造、真空包装設備、自動車製造業、集中真空抽気システム、各種化学処理、真空脱気、真空脱気、真空脱水、真空凍結乾燥、真空蒸留。

1、抽気速度とは、推奨前段ポンプを用いた条件下で、ルーツ真空ポンプの入口圧力が67 pa〜2.67 paの範囲内で測定された抽気速度を指す。

2、限界圧力とは、推奨前段ポンプを配用する条件下で、付加容器、ポンプポートを一切持たずに密閉して吸気せず、十分に抽気した後に圧縮式真空計でポンプ吸気ポートで測定した安定した空気分圧力の低い値を指す。

3、上表の各性能は推薦前段ポンプを配用する条件下で得られ、ユーザーは状況に応じて異なる前段真空ポンプを選択することができるが、その主な性能指標は変化する。

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