エリプソメータ

UVISEL 2は、任意のサンプル表面を観察するために使用できるサンプル可視システム（技術）を備えている。8種類のサイズの微小スポットを組み合わせることにより、スポットはサンプル上の様々な定義されたサイズの測定対象領域を精密に決定することができる。

UVISEL 2は世界でzuiの小さい無色差マイクロスポット技術を集積し、スポットサイズzuiは35μmに達することができ、マイクロエリア測定を実現する際に依然として大きなスペクトル範囲をカバーすることができる。

専門的なDeltaPsi 2ソフトウェアプラットフォームで、操作が簡単で直感的で、薄膜の精密分析に各種の最適化された測定、モデリング機能を提供する。

UVISEL 2は他のすべての機種よりも性能が優れた型楕円偏光分光器である。古典的なUVISEL楕円偏光分光計で実証されているzuiの高精度、zuiの高感度性能を継承し、さらに再設計を経て、性能が大幅に向上した。

フィルム測定製品ライン

楕円偏光法は光学的で、フィルム、表面、界面を正確に特性化することができる非破壊測定技術である。楕円偏光分光計は主にフィルムの厚さ（1〜30µm）と光学定数（n，k）の測定に用いられる。

だ円偏光分光計

*の技術、*の薄膜特性化能力を備え、zuiの高感度と精度の測定を提供することができる。

その場とオンラインエリプソメータ

薄膜堆積とエッチングプロセスの高精度、高速度監視と制御。

エリプソメータフィルムの品質制御

新技術：膜厚と光学定数のワンタッチ測定！

大面積測定システム

表示装置産業向けに設計されたシステムで、第7世代の表示基板を処理することができます。

ソフトウェア

DeltaPsi 2は、汎用グラフィックスユーザインタフェース（GUI）に基づいて開発された次世代ソフトウェアです。設計目標は、ユーザーと機器間の直感的で包括的な相互作用を提供することです。このマルチタスク処理ソフトウェアが備える多機能性は、オフサイトとその場の配置に使用でき、全自動を駆動することができる。