原子蛍光分光法は微量及び超微量分析方法である。そのため、比較含有量サンプルを測定する際には、予め希釈してから測定しなければならず、不注意で含有量（特にHg）に遭遇した場合には管路システムが深刻な汚染を受けることになる。処理方法：10%HCl（V／V）溶液にキャリア／サンプル注入管を入れ、蠕動ポンプを起動して絶えず洗浄することができ、もしまだ洗浄が難しい場合、ポリテトラフルオロエチレン管路を交換する必要があり、一般的な場合、いずれも明らかに改善することができ、もし残留が除去しにくい場合、石英炉管の状況に対して、説明書に従って石英炉管を取り外し、2030%王水で24時間程度浸漬する必要がある。その後、脱イオン水で洗浄し、乾燥させたりオーブン内で乾燥させたりして使用します。

点火した電気炉ワイヤを交換するには、説明書の要求に従って、用意した炉ワイヤを交換すればよく、炉ワイヤを短く切ってはいけない。そうしないと、抵抗値が変化し、輸送者の電圧と一致しない。

中空陰極ランプの先端の石英窓ガラスは清潔で、手で触れてはいけないことに注意すべきで、もし不潔な現象が発見されたら、上述の第2条の中で混合液を使用して拭き取りを行うべきである

器具の表面を清潔に保つために、洗剤で希釈した後、清潔なガーゼで濡れた後に拭き、清潔なガーゼで拭き洗いすることができる。
（混合液：30%エタノールと70%乙＊）
原子化室内は酸ガスや塩類に浸食されやすいため、レンズの前キャップや原子化器に白い沈殿物による斑点があり、清潔なガーゼで拭くことで清潔を保つことができます。