三次元光学表面輪郭計

新しいデザインの三次元光学表面輪郭計S ネオックス従来を覆し、共焦点、干渉、多焦点面重畳技術を融合させ、ヘッド内に運動部品がないことを測定する。

測定技術：

共焦点

共焦点技術を用いて、各種サンプル表面の形態を測定することができる。光学顕微鏡よりも横方向の分解能が高く、0.10 umに達することができます。これを利用して臨界寸法の測定を実現することができます。150倍、0.95開口数のレンズを用いた場合、共焦点は平滑面で70°（粗面86°）の傾きを測定した。共焦点アルゴリズムは、Z軸測定の再現性がナノドメインにあることを保証する。

干渉

ª位相差干渉（PSI）

位相差干渉は、滑らかな表面の高度な形態を測定するためのサブナノスケール精度の技術である。その利点は、どの増幅倍数でもサブナノスケールの縦分解能を保証できることです。2.5倍のレンズを使用することで、超高縦解像度の大視野測定を実現することができます。

ª白色光干渉（VSI）

白色光干渉は、様々な表面の高度な形態を測定するためのナノスケールの測定精度の技術である。その利点は、どの増幅倍率でもナノスケールの縦分解能を保証できることです。

多焦点面重ね合わせ

多焦点面重畳技術は、非常に粗い表面形態を測定するために用いられる。共焦点と干渉技術の融合応用におけるSensofarの豊富な経験に基づいて、特にこの機能を設計して低倍共焦点測定の需要を補充した。この技術の大きなハイライトは、高速（mm/s）、走査範囲の広さ、および支援スロープの大きさ（86°）です。この機能は、ワークピースと金型の測定に特に役立ちます。

測定及び分析ソフトウェア

センソSCAN

SensosSCANはシンプルでフレンドリーな操作ソフトウェアです。3 Dの世界にユーザーを取り込み、*のユーザーエクスペリエンスを提供します。ソフトウェアインタフェース内では、ユーザーは使用されている測定方法を直感的に明確に理解することができ、同時にデータを表示し分析することもできます。

強力なプロ向け分析ソフトウェア

SensoPRO LTまたはSensoMAPソフトウェアを追加することで、簡単に全自動測定と分析を実現することができます。

適用：

三次元光学表面輪郭計S ネオックス半導体、バイオ医薬、バイオテクノロジー産業において重要な役割を果たすためのさまざまなアプリケーション要件を満たすことができます。