3 D表面輪郭計

3 D表面輪郭計 Slynxは工業と研究所のために設計された新しい非接触式である3 D表面輪郭計。シンプルなデザインで用途も多様です。Slynxは異なる材質、構造、表面粗さと波度を測定でき、ほとんどすべてのタイプの表面形態をカバーする。その多機能性は広範な形態測定用途を満たすことができる。Sensofarのコアは3つの測定方式を融合させ、その*の性能を確保したことである。SensoSCANソフトウェアシステムに合わせて、ユーザーは信じられない直感的な操作体験を得ることができます。

応用分野：

• 自動車業界
• 家電製品
• エネルギー業界
• LCDディスプレイ
• ざいりょうがく
• マイクロエレクトロニクス
• マイクロ製造業
• ミクロ生物学
• 光学デバイス
• 工作機械加工業
• 半導体業界
• 腕時計製造業

トライアック

ª共焦点

共焦点技術を用いて、各種サンプル表面の形態を測定することができる。光学顕微鏡よりも横方向の分解能が高く、0.10 umに達することができます。これを利用して臨界寸法の測定を実現することができます。150倍、0.95開口数のレンズを用いた場合、共焦点は平滑面で70°（粗面86°）の傾きを測定した。共焦点アルゴリズムは、Z軸測定の再現性がナノドメインにあることを保証する。

ª干渉

白色光垂直走査干渉（VSI）は、形態や透明薄膜構造などの表面特性を測定するために広く使用されている強力な技術である。平滑から適度に粗い表面を測定するのに適しており、対物レンズのNAや倍率の変化にかかわらず、ナノスケールの垂直分解能を提供することができます。

ª多焦点面重ね合わせ

多焦点面重畳技術は、非常に粗い表面形態を測定するために用いられる。共焦点と干渉技術の融合応用におけるSensofarの豊富な経験に基づいて、特にこの機能を設計して低倍共焦点測定の需要を補充した。この技術の大きなハイライトは、高速（mm/s）、走査範囲の広さ、および支援スロープの大きさ（86°）です。この機能は、ワークピースと金型の測定に特に役立ちます。