窒化アルミニウム非接触レーザ線厚及び厚さ選別機

窒化アルミニウム基板非接触レーザ線厚及び厚さ選別機

一、顧客の基本的な厚さ測定要求：

1,測定オブジェクト：窒化アルミニウム基板（重さ：100グラム）

基板サイズ範囲：正方形,小114 mm*114 mmあ、大きい124mm*124mm，

あつさはんい:小0.25ミリメートルあ、大きい1.5mm，

2,検査基準：

合格:
0.381 mm +/-0.03 mm;板内9点厚の極大値マイナス極小値の差≤0.025mm

0.381 mm +/-0.04 mm;板内9点厚の極大値マイナス極小値の差≤0.025mm

0.381 mm +/-0.05 mm;板内9点厚の極大値マイナス極小値の差≤0.025mm

0.5 mm +/-0.03 mm;板内9点厚の極大値マイナス極小値の差≤0.025mm

0.5 mm +/-0.04 mm;板内9点厚の極大値マイナス極小値の差≤0.025mm

0.5 mm +/-0.05 mm;板内9点厚の極大値マイナス極小値の差≤0.025mm

0.762 mm +/-0.05 mm;板内9点厚の極大値マイナス極小値の差≤0.025mm

上記誤差の範囲を超えたものは不適合品である.データを保持するためにコンピュータが必要.

上のユーザの具体的な基準をアルゴリズムとして抽象化する:

設定：f（x，y）を厚さ関数、単位：mm

Xの定義フィールドは：0.1≤x≤1.5

yの定義ドメインは：0.01≤y≤0.05

則：x-y≤f(x,y) ≤x+y;

マックスf(x,y)]-MIN [f(x,y)] ≤0.025

そして：[x-y≤f(x,y) ≤x+y]AND {マックス[f(x,y)]-MIN [f(x,y)] ≤0.025}=真

3,製品の厚さ測定要求

各ボードは9点を測定し、次の図のように3行に分けて配置します。

二、システムアーキテクチャ

実現のためにせいかくばん：114 mm*114 mm 和124 mmX124ミリメートル；厚い：0.25 mm〜1.5mmプレートのオンライン動的非接触高精度レーザ測定厚さと厚さの合格と不合格の選別機能を用いて、1台のLTG-680型型レーザ線厚測定器X-Y2次元走査ステップ定点測定プレートの各位置（9点）の厚さ（本モデルのレーザー線厚計の走査幅は：680mm；厚さ範囲：0.02 mm -6mm;測定精度：+/-0.002ミリメートル）。自動吸盤上材システムと自動板厚を同時に増設するぶんけんシステムは、自動化された窒化アルミニウム板の厚さ測定と厚さの合否測定を構成する生産ライン、システムアーキテクチャ図は以下の図である：

三、システムの動作原理

1,システム設計

上図のように、測定される基板は要求に応じて位置に置かれ（吸盤は所定の位置に置くことができる）、上料システムは上位コンピュータによって制御される。LTG-680型レーザー線厚測定器は2次元定点走査フレームに取り付けられ、行うことができるX-Y移動位置決めは、モノリシックマシンと上位マシンの共同制御を受けて、窒化アルミニウムプレートの厚さ測定任務を完了する。厚さ選別機構はシングルチップ機と上位機の共同制御を受け、合格板、超厚板、超薄板の分検判断を実施する。レーザ線厚計のソフトウェアインタフェース図は以下の通り：

上位コンピュータのソフトウェアインタフェースはまだありません。

2,動作原理

システムは起動信号を受信し、動作を開始する：まず、設定された測定対象板材の型番を検出し、選択された型番に従って相応の位置決めプログラムを起動し、その後、位置決めプログラムは制御パルス（異なる位置決めプログラムによって発生するパルス数が異なる）を発行し、真空クレーン治具を測定対象板材の上に移動させ、板材を持ち上げて自動試験プラットフォームに搬送する。自動試験プラットフォームはコンピュータ設定板材の寸法に基づいて相応のパルス移動プログラムを起動し、プラットフォームが板材をレーザ厚さ測定器の有効測定範囲に送ることを制御し、3本の線に沿って走査厚さ測定を行い、コンピュータシステムは異なる寸法板材の設定に基づいて、出力パルス信号の数を記録し、それによってレーザ厚さ測定器の厚さ測定点の板材上の位置を計算し（ソフトウェアは9点位置の厚さ値だけを記録し、その他の位置の厚さ値は合否に関与しない）、試験が必要な点で厚さ測定データを記憶し、コンピュータ上に表示する。その後、測定すべき板材が合格したかどうかに基づいて相応の位置決めプログラムを起動し、真空吸引機治具を誘導して板材を位置まで引き上げ、1つの検査周期を完成する。

四、測定中の同期と位置センシング問題

窒化アルミニウム板は1枚、1枚が送られてきたので、上料機の下に板があるかどうか、板が届いているかどうか、レーザー線厚計の下に被測定板があるかどうか、測定後に板がうまく選別されているかどうかなど、これらはすべて完全な検査システムで完成する必要があるので、位置検出装置も設計しなければならない。また、材料の投入、厚さの測定、この3つの実行機構間の協同、相互接続、相互ロックなどの論理も制御ソフトウェアのセットを設計して実施しなければならない。

五、上位コンピュータシステム

上位コンピュータシステムは、レーザー分厚計から窒化アルミニウムプレートの各領域の厚さデータを取得し、規則に基づいて選別機の購入を制御して選別機能を完了するデータ処理システムである。同時にそれは全体のシステムの制御センターでもあり、それは上料機、厚さ測定機、機の3つの実行機構の間の協同作業、相互接続通信、相互ロック論理を制御することができ、3つの動作機構が協同して作業することができ、自動窒化アルミニウムプレートの厚さ測定と厚さの合否の作業を完成することができる。

• ソフトウェアアルゴリズム（厚さ検査）

設定：f（x，y）を厚さ関数、単位：mm

Xの定義フィールドは：0.1≤x≤1.5

yの定義ドメインは：0.01≤y≤0.05

則：x-y≤f(x,y) ≤x+y;

マックスf(x,y)]-MIN [f(x,y)] ≤0.025

そして：[x-y≤f(x,y) ≤x+y]AND {マックス[f(x,y)]-MIN [f(x,y)] ≤0.025}=真