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BIue Mパッケージ試験オーブン206/256/296(卓上)136/336/1046(縦型)

交渉可能更新02/17
モデル
製造者の性質
プロデューサー
製品カテゴリー
原産地
概要
設備の特徴:
製品詳細

設備の特徴:

1) パネルは大型鋼材(少なくとも16G);

2) のために行動304絶縁層へのガスの侵入を防止するために、ステンレス鋼の完全溶接シール構造、

3) 全溶接シール構造、微量元素と酸素含有量を保証し、ガスの移動を除去する、

4) 表面射出成形処理は設備の長時間の耐食性を保証し、

5) 4インチ鉱物綿絶縁層限度の減少熱散逸、

6) ブルー Mガラス繊維ゲートシールリングの設計は効果的にゲートをシールすることができる、

7) すべての非不活性ガスが適切に形成され、 全処理工程における柔軟性を提供

8) 標準的な安全ドアスイッチは浄化の完全性を維持する。

主な技術パラメータ

1) 温度範囲:室温+15℃~350

2) 均一性:±1%

3) 制御精度:±0.5

4) 解像度:±0.1

5) パフォーマンスデータ(標準データ):60分以内に300

仕様パラメータ:

モデル

モデル

206

(デスクトップ)

256

(デスクトップ)

296

(デスクトップ)

136

(縦型)

336

(縦型)

1046

(縦型)

ないぶようせき

4.2cu.ft

5.8cu.ft

9u.フット

11.0立方フィート

24.0立方フィート

24.0立方フィート

内部寸法 広い*深い*高さ(インチ)

20*18*20

25*20*20

25*25*25

38*20*25

25*20*38

48*24*36

がいぶすんぽう 広い*深い*高さ(インチ)

40*34*57

45*36*57

45*36*66

58*36*71

45*36*84

68*40*82

設備敷地面積

9.4 平方フィート

11.0 平方フィート

11.0 平方フィート

15.0 平方フィート

11.0 平方フィート

19.0 平方フィート

電気的構成

208VAC単相50/60Hzライン電流(各相)

3.0キロワット

17

4.5キロワット

25

6.0キロワット

33

6.0キロワット

33

6.0キロワット

38

6.8キロワット

38

240VAC単相50/60Hzライン電流(各相)

4.0キロワット

20

6.0キロワット

29

8.0キロワット

35

8.0キロワット

35

8.0キロワット

44

9.0キロワット

44

208VAC三相50/60Hzライン電流(各相)

6.8キロワット

20

9.0キロワット

27

13.5キロワット

40

13.5キロワット

40

13.5キロワット

53

18.0キロワット

53

240VAC三相50/60Hzライン電流(各相)

9.0キロワット

23

12.0キロワット

31

18.0キロワット

46

18.0キロワット

46

18.0キロワット

61

24.0キロワット

61

480VAC三相50/60Hzライン電流(各相)

9.0キロワット

12

12.0キロワット

16

18.0キロワット

23

18.0キロワット

31

18.0キロワット

31

24.0キロワット

31

推奨ガス流量

モデル

モデル

純化(SCFH)

ブローイング/時間)

実行(SCFH)

運転(標準立方フィート/時間)

クール(SCFH)

冷却(標準立方フィート/時間)


206

120 SCFH 27分

25

25


256

200SCFH18分

30

30


136

200SCFH30分

60

60


336

200SCFH30分

60

60


1406

600 SCFH 24分

120

120


キーワード:ブルー Mオーブン、TPSオーブン、DCI206、DCI256、DCI296、DCI136、DCI336、DCI1406、 ビュー Mチップオーブン,カプセル化テスト,こうか,ウェハ乾燥焼鈍

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