CT-ナノ

CT-NANO 2018/10/11 CT-NANOは走査電子顕微鏡技術に基づいた多機能X線顕微鏡技術であり、X線源を使用している。CT-NANOはナノCT測定機能を持ち、検出器とサイズ最適化された視野を直接変換することができ、サンプル室内に高精度ロボットを設置し、検出目標の移動を確保する。材料科学、半導体、石油、天然ガス、生命科学、工業などの分野に適用する。それは30 nmから10μmのボクセルサイズ範囲を提供し、幾何学的拡大倍率は50 nm（FWHM）に達し、光子エネルギーは30 keVである。EDS検出器は、サンプルのXRF信号とCT−NANOの再構成体積との間に追加の相関を提供する。