CleanMillアルゴンイオン研磨システム

従来の機械研磨方式によりサンプル断面が製造され、断面には機械的損傷と研磨剤のサンプルへの埋め込みによる汚染が避けられない。アルゴンイオンビーム切断サンプルを用いて調製すると、機械的損傷や表面汚染のない平坦な断面を調製することができ、電池材料や部品の断面サンプルを調製するのに非常に適し、それによって走査電子顕微鏡構造の特徴分析を行うことができる。Thermo Scientific CleanMillTMは電池断面サンプルに完備したアルゴンイオンビーム研磨方案を提供し、電子ビーム感受性材料と空気感受性材料の真の状態でのSEMイメージングと特徴分析を実現することができる。

Thermo Scientific CleanMillTMアルゴンイオンビーム断面研磨システム（BIB−CP）は、正確な特徴付けのために良質で効率的なサンプル調製方案を提供することを目的としている。その標準的な16 keV超高エネルギーイオン源は研磨品質を保証する下でより強いスパッタリング能力とより高い研磨効率を持っている。同時に、低エネルギーイオン源は、微細構造を有し、イオンビーム照射による損傷を受けやすい試料に対する非破壊の精投げと洗浄を実現することができる。

多くの電池材料や部品は、電子ビーム感受性と空気感受性の特性を備えている。Thermo Scientific CleanMillTMはCleanConnectTMと互換性があり、Thermo Scientific IGSTワークフローを改善します。CleanConnectサンプル転送システムは、不活性ガス/真空下でサンプルを電子顕微鏡サンプルビン内に迅速に転送することを可能にする超高価格比の集積化ソリューションを提供している。この真空インターロックソリューションは直径25 mmまでの標準サンプルテーブルを採用し、SEM/DualBeamシステムでの異なるサンプルの転送作業を大幅に簡略化した。サンプルはグローブボックス内でCleanConnectサンプルボックス内に積載することができ、さらにCleanConnectを介してCleanMillに移して断面サンプルの製造を行うことができる。その後、CleanMillで調製した断面サンプルをCleanConnectを用いてThermo Scientific SEMに移して微細構造特性評価を行った。試料は全過程にわたって不活性ガス保護状態にあり、断面完全性を保証した。このワークフロープロセスはサンプル転送作業を大幅に簡略化し、結果の取得速度を高め、真の状態で空気感受性材料の構造特性化を実現した。

主なメリット

•高エネルギーイオン銃による高速研磨と研磨

•専用90°サンプルテーブルを用いた断面サンプルの製造

•試料の回転と揺動操作を可能にする自動パラメータ設定と操作

•空気感受性材料のサンプル製造が可能であり、サイマーの不活性ガスサンプル転送プロセス（IGST）がより完全になる

•高分解能CMOSカメラとタッチスクリーンを搭載し、サンプルの研磨過程をリアルタイムで観察できる

•低エネルギーイオン銃をオプションで配合し、微細構造と照射損傷を受けやすい試料に対する非破壊精投げと洗浄を実現することができる。

•電子ビーム感受性試料の凍結研磨時に自動液体窒素注入を可能にする冷却テーブルをオプションで配置可能

Thermo Scientific CleanMillはCleanConnectと全セットのIGSTワークフローと互換性があり、空気感受性材料の真の状態での特徴分析を実現する。

仕様パラメータ

イオン銃選択

標準超高エネルギーイオン銃、加速電圧連続調整可能

• 2〜16 keV

•イオンビーム電流範囲：20～500 A

•スパッタリング速度：>500 m/hr

•低エネルギーイオン銃のオプション

•加速電圧：100 eV–2 keV

•自動化されたイオン源設定

イメージングシステム

固定X 10増幅機能を備えた高解像度CMOSカメラであり、そのデジタル増幅機能はX 120への連続的な調整を可能にする

サンプルテーブル

サンプル傾斜：0°〜180°、0.1°増分サンプル回転：面内360°

サンプル揺動：面内揺動、±1°から±180°、1°/ステップ

サンプルホルダーの種類と積載可能寸法

標準型表面研磨サンプルホルダー

•支持サンプルサイズØ30 mmx 15 mm CleanConnect対応サンプルホルダー：

•表面研磨

o担持サンプルサイズØ28 mmx 3 mm

o交換可能サンプルホルダー支持可能サンプルサイズØ20.5 mmx 8.5 mm

•断面研磨

o 90°サンプルホルダー：支持サンプルサイズ10 mm（長さ）x 10 mm（幅）x 3 mm（高さ）

しんくうシステム

•オイルフリーダイヤフラムポンプとターボ分子ポンプ、ベルト（ピラニ/バニン）真空計

ガス供給システム

•アルゴン（純度99.999%）

•高精度ガス流量制御システム

コンピュータ制御システム

•操作しやすいタッチスクリーングラフィックスユーザーインタフェース（Touch GUI）

oシステム設定

o研磨パラメータ設定

o操作制御

•Touch GUIはWindows 11システムを採用

オプション部品

•自動注入機能付き液体窒素冷凍テーブルで、無停止冷凍研磨投げを実現できる

•サンプル調整位置決め装置

•その他のスペアパーツと消耗品

•CleanConnectをロードできるグローブボックスポート装置

保証とトレーニング

•1年間の保証

•シンプルなトレーニングのみでシンプルな設計のシンプル化

•使用説明を含むユーザーマニュアル

インストール要件

•インストールポートを予約しておく（他の添付ファイルはこのポートを共有できません）

•環境：通常の顕微鏡の要件と同様に、プリインストールマニュアルを参照

•機器の右側にはCleanConnectトランスファレバーを使用するための十分なスペースが必要

•システムサイズ：70 cm（幅）x 70 cm（奥行き）x 61 cm（高さ）

CleanMillから作製したNMC陰極シート断面は、Apreo 2 Sイメージングを用いて