清浄度クリーンルーム

清浄度クリーンルーム外在する空気条件がどのように変化しても、その室内には以前設定された清浄度、温湿度、圧力などの性能を維持する特性がある。

クリーン度クリーンルームの主な役割は、製品（シリコンチップなど）が接触する大気のクリーンな日と温湿度を制御し、製品を良好な環境空間で生産、製造できるようにすることであり、この空間をクリーンルームと呼ぶ。慣例に従って、クリーンクリーンレベルは主に1立方メートルあたりの空気中の粒子直径が区分基準より大きい粒子の数に基づいて規定される。つまり、クリーンとは100%塵がないわけではなく、非常に微量な単位に制御されています。もちろん、この基準の中で塵基準に合致する粒子は私たちがよく見る塵に対してすでに小さく微々たるものであるが、光学構造にとっては少しでも塵が非常に大きなマイナス影響を与えるため、光学構造製品の生産においては塵がないことが必然的な要求である。

1立方メートル当たり0.5ミクロンより大きい粒子径の微塵の数を3500個以下に制御すると、クリーン基準の*。チップレベルの生産加工に応用されるクリーン基準はほこりに対する要求が*より高く、このような高基準は主にいくつかのレベルの高いチップ生産に応用されている。微塵の数は1立方メートルあたり1000個以内に厳格に制御されており、これは業界で通称1 Kクラスである。

クリーン度クリーンルームの全体的な計画レイアウト：

風上室、通過、可視窓

浄化構造部分、浄化システム部分、配電システム

各機能領域の区分、例えば、洗浄サンプル領域、粒子分析領域、ファイル保管領域など

清浄度クリーンルームISO 14644-2015、GB 50073-2001などの標準要求を満たす

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