ていあつしんくうポンプ

KT-PID 1000 Zは真空定圧制御システムであり、システムは4立方-16立方の1時間当たりの抽気速度をサポートする各種型式2段回転板機械ポンプであり、リニアバルブを通じて真空ポンプの抽気速度を制御し、さらにチャンバ室内圧力の精密測定と定圧制御を獲得し、我が社の管式炉、めっき器、封口機などの設備と結合し、PVD、CVD及びPECVDなどの技術の圧力一定の精密制御を実現することができる。

拡散、酸化、エピタキシャル、CVD、プラズマスパッタリング及びめっきプロセス、光ファイバ溶融、混合ガス配気システム及びその他の分析機器中。

技術パラメータ：

制御方式：PIDアルゴリズム制御

制御範囲：1000 Pa-1 Pa（キャビティサイズに応じた真空ポンプ抽気速度）

PID調整抽気率範囲：0-100%

真空ポンプを支持する：4-16立方メートル毎時抽気速度

抽気口真空フランジ：KF 16 KF 25 KF 40