膜厚制御器

ネゴシエーション可能更新04/29

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概要

膜厚制御器の動作原理は膜厚監視器と異なり、それは自身の閉ループループを利用して膜めっき過程における膜材料の堆積速度、膜層厚をリアルタイムの監視と制御を行い、膜めっき効果をZ良い状態にすることができる。MDC-360は基本型で、設置/調整が便利で、操作が簡単で、正面入力、機能が完備しているなどの特徴があり、顧客に便利な設計成果を提供する複数の項目を集中しており、製品シリーズの中でMDC-360 C*を代表的で、MDC-360とMDC-370の2種類の機種の利点を融合しており、現在も口コミZが良く、市場保有量Zが高い*機種である。

製品詳細

製品の説明：

膜厚制御器の動作原理は膜厚モニタと異なり、それは自身の閉ループループを利用して膜めっき過程における膜材料の堆積速度、膜層厚をリアルタイムの監視と制御を行い、膜めっき効果を良好な状態にすることができる。MDC-360は基本型で、設置/調整が便利で、操作が簡単で、正面入力、機能が完備しているなどの特徴があり、顧客に便利な設計成果を提供する複数の項目を集中しており、製品シリーズの中でMDC-360 Cが代表的で、MDC-360とMDC-370の2種類の機種の利点を融合しており、現在も口コミがよく、市場保有量が高い機種である。

主な特徴：

1）情報が直感的である4色LCD大画面液晶ディスプレイは、リアルタイムでグラフ及び各種重要情報を表示することができ、キーを押すことによってグラフ画面と状態画面の間で随時切り替えることができる。

2）操作が簡単――直感的なメニューモード、32種類の事前設定された材料データベース及びアルファ数字キーパッドは、ユーザーの操作と使用を大幅に便利にした。

3）強力な機能――MAXは4ウェイプローブ入力に拡張でき、99種類のプロセス、999種類の定義膜層と32種類の事前設定材料データベースを保存する。

4）自動制御——ウェハを自動的に切り替え、ウェハが故障した場合、電源を自動的に一時停止または中断する、正常に回復したら、最初から始める必要はなく、連続運転が可能になります。

5）個性的な設定：純粋に数字と符号化で命名された入出力情報、制御プログラムと材料名を修正し、混同を避けるために識別しやすくすることができる。

6）安定的で信頼性が高い――人間的な音声提示と警報システム、音量の大きさは調節できる。

主な技術パラメータ：

周波数分解能0.03 Hz、6.0 MHz基準周波数上

質量分解能0.375 ng/cm²

ウェハ周波数2.5、3、5、6、9.5、10 MHzをサポートする

膜厚は0.000〜999.9 KÅを示した。