膜厚制御器

ネゴシエーション可能更新04/29

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概要

膜厚制御装置INFICON、薄膜コーティング制御技術の*者は、生産性と低所有コストの*機器を提供しています。$r$n製品の適格性を制御する必要があるか、科学研究プロジェクトに使用する必要があるかにかかわらず。INFICON XTC/3はあなたの要求に適応できます。$r$n*，実用的な単層及び多層めっき速度制御

製品詳細

膜厚制御器

単層と多層めっき技術に用いられる薄膜めっき制御器XTC/3はModelLock 1技術を装備し、信頼性の高いモードジャンプ防止機能を提供し、一貫しためっき品質を達成することができる。XTC/3薄膜めっき層制御器を使用すると、めっき速度と膜層厚を高度に正確に制御でき、ほとんどの膜層数を制御できる能力がある。容易な設置と安定した信頼性により、高い生産性を確保することができます。

とくてん

■単膜層と多膜層モデルがある

■モードジャンプによる膜厚誤差を防止するModelLock技術

■INFICON Crystal 12対応TM,CrystalSix?高生産性のための二重プローブ自動結晶スイッチング

■XTC/3 Mマルチフィルム層の型番は99までのプロセス、999個のフィルム層、32個のめっき層、2個のプロセスをサポートする

センサーと2つのソース

■XTC/3 S単膜層の型式は9つのめっき層、2つのセンサーと2つのソースをサポートする

■読みやすいTFT-LCDグラフィックスディスプレイ

■検索を容易にするために、*可能で記述的なフィルムとプロセス名

■イーサネット接続ソフトウェアあり

■単独運転（コンピュータ不要）またはPCで動作するWindows？ソフトウェアオプション

■INFICON XTC/2制御器のプラグアンドプレイ交換（XTC/2機能と命令群に限る）

膜厚制御器

技術仕様

機能、パラメータ、または技術仕様	XTC/3 S単層膜	XTC/3 M多層膜
分解能の周波数変化を測定する	＋0.05Hz	＋0.05Hz
そくていくかん	0.25秒	0.25秒
厚さと速度分解/測定	0.06A,ツール/密度=100	0.06A,ツール/密度=100
	基本周波数＝6 MHz	基本周波数＝6 MHz
XTAL 2変換をサポート	はい	はい
コンピュータ通信	RS 232規格、イーサネットTCP/IPオプション	RS 232規格、イーサネットTCP/IPオプション
大きなRS 232ボーレート	115.2キロポート	115.2キロポート
リレー数	12標準、事例なし	12標準、事例可
プログラマブルリレー機能数	1	1
各リレー機能	1	1
リレー電圧定格	30 V直流または30 V交流RMSまたは30 V直流	30 V直流または30 V交流RMSまたは30 V直流
	42 Vピーク、2.5 A	42 Vピーク、2.5 A
にゅうりょくすう	8TTL,24 V直流大	8TTL,24 V直流大
プログラマブル入力機能数	1，事例なし	1，事例
レコーダ入力数	1	1
手動電源/ハンドヘルドコントローラ	はい	はい
はいしゅつファン	無	無
テストモード	はい	はい
遮光器遅延	はい	はい
にじこうぐ	はい	はい
大許容位相シフト周波数	1.0 M Hz	1.0 M Hz
シャーシサイズ	ラック1/2、高さ2 U	ラック1/2、高さ2 U
速度と膜厚の表示分解	0.1 A秒、0.0から99.9 A/秒、1 A/秒、 100～999 A/秒	0.1 A秒、0.0から99.9 A/秒、1 A/秒、 100～999 A/秒
	表示膜厚分解=1 A	表示膜厚分解=1 A
入力によるめっき層の選択	はい	いいえ
ユーザーアドバイザ言語	英語、中国語	英語、中国語
コントロールリング	PID	PID
データログイン	はい	はい
品質と安定性機能	はい	はい
サンプルと保持	はい	はい
るつぼ選択	はい	はい
るつぼフィードバック入力	はい	はい
せんたくせいぎょでんあつきょくせい	はい、+/-2.5、5、10ボルト	はい、+/-2.5、5、10ボルト
	15-ビット分解能	15-ビット分解能
プログラムロックコード	はい	はい
ユーザラベルプロセス/メッキ	いいえ	はい
XTC/2 RS 232通信互換性	はい（限定）	はい（限定）

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