膜厚制御器

膜厚制御器*を有するエレクトロニクス、改良されたディスプレイ、および非常に高い性能価格比、

インフィコン SQC310膜厚制御器 シリーズはあなたに他の生産工場のフィルム制御器にはない性能と特色を提供します。同時にあなたの応用のために理想的なモードを選択することができます：順序めっき（SQC 310）あるいは並列めっき（SQC 310 C）。
シーケンシャルめっきのために、SQC 310は2つのセンサ入力、2つのソース出力、8つのデジタル入出力を装備し、これらの数を倍にする拡張カードボードオプションを提供する.並列めっきに用いられ、SQC 310 C制御器は多
4個のPID制御出力を有する4個の石英結晶センサ、16個の数
ワード入力、及び16個のリレー出力は、SQC 310の仕様と同じである.

特徴

■高輝度、VGA活性格子カラーLCDディスプレイ–英語または中国語を表示することができる。

■標準RS-232とUSB（イーサネットオプションあり）。

■設定と操作が容易で、「クイック設定」メニュー、6つのコンテキスト-敏感なボタン、便利なパラメータ設定つまみがある。

■Windowsプログラムは開発、テスト、ダウンロードプロセス、および機器データをPCに記録し、プロセス分析と品質制御に使用する。

■正確なプロセス制御、特に低堆積率に用いられ、10読取値/秒時の分解能は±0.03 Hz、0から50°C温度範囲内の周波数安定性は±2 ppmである。

■貯蔵容量が100工程まで高く、1000膜層、50膜系。

■単センサまたは多センサを用いてソース材料をモニタリングし、正確なソース分布モニタリングを提供する。

性的サポート：

EMCの強みは競合他社の*性

INFICONのオフィスは至る所にあり、SQC 310シリーズのすべてのアクセサリ、例えばセンサ、フィード、セカンダリなどを提供する薄膜めっき制御器メーカーを含む、現地でのサービスと性を提供することができます。SQC 310シリーズの機器またはその他のINFICON製品を注文すると、どこにいても迅速な回答が得られ、現場のサービス、より大きな設備の稼働時間が得られます。
技術仕様

測定
SQC310 SQC310C
プローブ入力2（オプション4）4
周波数範囲4～6 MHz
周波数分解±0.03 Hz、0.10秒測定周期内の周波数安定性±2 ppm総量、0〜50°C測定速度1〜10 Hz
レート0.01/秒
制御
100工程保存、1000膜層、50膜系
制御出力2（4オプション）4
出力信号±0から10ボルト直流、15データビット
デジタル入力/リレー8（16オプション）16
デジタル入力5ボルト直流非絶縁リレーSPSTは、1 A、30 V、2 AインタフェースRS-232およびUSB（イーサネットオプション）リモート電源制御から選択可能
ディスプレイ
モデル1/4 VGA 320 x 240活性格子カラーLCD画像レート、偏差、パワーまたは全画面デジタル統合
電源装置100～240 V AC、50/60 Hz、25 W
標準CE Windowsソフトウェアに準拠
ハウジング/取り付け5/4」-ラック