ドイツINFICONヘリウム質量分析漏れ検出器

乾式ヘリウムガス漏れ検出器UL 3000 Fab（PLUS）

UL 1000 Fabのアップグレード強化版

INFICONヘリウムガス漏れ検出器UL 3000 Fab（PLUS）は、半導体用途における漏れ検出要件を満たすように設計されている。

この漏れ検出器は、迅速に起動し、迅速で正確な機能を提供する柔軟性、可動性、高感度、信頼性を備えていますの測定結果を発表した。

結果の迅速な取得
改良後の真空システムは低メンテナンス真空ポンプ設計を採用し、大気圧下で漏洩を検出することができる。耐久性のある質量分析システムにより、長時間の運用時間とメンテナンスコストが削減されます。UL 3000 Fab PLUS中のHYDRO-Sソフトウェアはシステム中の水蒸気を除去し、漏洩検出プロセスをより迅速にすることができる。

UL 3000 Fab PLUSは成熟した嗅ぎ器回線SL 3000（長さ10 mまで）を採用し、嗅ぎ能力がさらに向上した。

ロータリリモコンディスプレイ
新型タッチパネルディスプレイは、測定結果や状態情報を遠隔表示することができる。ユーザ誘導型メニュー構造により容易に操作でき、経験の浅いオペレータでも適任である。UL 3000 Fab（PLUS）は、特別なソフトウェアやアプリケーションを必要とせずに、スマートフォンやタブレットでワイヤレス制御できます。ボタンを押すと、記録されて記憶されている検出結果を他の記憶媒体に転送して、さらに解析することができます。

薄型設計で高い操作性を実現
低重心、大底輪、人間工学に適した設計のハンドルとスリムなハウジングにより、UL 3000 Fab（PLUS）は狭い空間でも移動自在になる。

機能

• 大気圧で測定可能
• 直感的なユーザーガイドとタッチスクリーンディスプレイ
• ほこりや汚染物質の影響を受けにくい堅牢で耐久性の高い真空システム
• 旋回半径が小さく、移動性能が抜群
• スマートフォンを使ってWebブラウザから操作可能
• メンテナンス要件が低い
• 設備に付属している部品

ドイツINFICONヘリウム質量分析漏れ検出器

典型的な応用

• 既存のツールに取り付ける前に部品の漏れをチェックする
• プロセスガスシステムの点検と設置
• TC 1000テスターボックスを使用したシールアセンブリの自動テスト
• 検出条件や清浄度に厳しい要求がある環境での漏洩検出