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メール
toucan@126.com
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電話番号
15088772190
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アドレス
杭州臨平西大街65号
杭州拓開諾貿易有限公司
概要
ガイド輪郭測定器はシリコンウェハ切断ガイドの輪郭測定に用いられ、測定範囲は50 mm（CV-1000）または100 mm（）CV-2000である。
製品詳細
ガイド輪郭測定器技術パラメータ：
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X軸
| 測定範囲 |
50mm（CV-1000)または100ミリメートル（）CV-2000
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| 解像度 | 0.2μm | ||
| 測定方法 | 反射型格子定規 | ||
| くどうそくど |
0.2ミリメートル/秒
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| そくていそくど | 0.02-5mm/s | ||
| 測定方向 |
/後ろに
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| ちょくせんど | 3.5μm /50mm
1.5μm/mm（当X軸が水平方向にある
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| しじせいど
（20℃）
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±（3.5+2L/100）ミクロメートル
L駆動長さ（mm）
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| 傾斜範囲 |
±45°（CV-2000）
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Z1軸
| 測定範囲 |
25ミリメートル（CV-100)または40ミリメートル（CV-2000）
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| 解像度 |
0.4μm（CV-1000シリーズ）
0.5μm（CV-2000シリーズ）
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| 測定方法 | アークエンコーダ | ||
| しじせいど
（20℃）
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±（3.5+14H/25）ミクロメートル）
H水平位置での測定高さ（mm）
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| プローブの上下動作 | 円弧運動 | ||
| プローブ方向 | 下へ | ||
| ちからを測る | 10〜30mN | ||
| トラッキング角度 | 上向き | 77° | |
| 下へ | 87° | ||
| プローブ針先 | 半径 | 25μm | |
| 材料 | 硬質合金の針先 | ||
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ベース寸法（H）
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750x600ミリメートル（CV-2000）
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| ベースざいりょう |
花崗岩（CV-2000）
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| 重量 | ホスト |
5キロ（CV-10000N2型）、115.8キロ（CV-2000M4型）、124キロ（CV-2000S4型）
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| せいぎょそうち |
14キロ | ||
| リモコンボックス | 0.9キロ | ||
| 電源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
| エネルギー消費量 |
150W*ホスト
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ガイド輪郭測定器パフォーマンスパラメータ：
| モデル | CV-1000N2型 | CV-2000N4型 | CV-2000S4型 |
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X1じくそくりょういき
| 50mm | 100ミリメートル | 100ミリメートル |
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Z1じくそくりょういき
| 25ミリメートル | 40ミリメートル | 40ミリメートル |
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Z2 のじくそくりょういき
| - | 250ミリメートル | 320ミリメートル |
