日立走査電子顕微鏡SU 1510

交渉可能更新03/18

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

日立走査電子顕微鏡SU 1510は精巧化設計を採用し、同類の設備の解像度と配置と同じ場合、体積を20%削減し、空間を節約し、二次電子と後方散乱検出器を標準配置し、形態とライニングを容易にすると同時に観察しやすく、日立タングステンフィラメント電子顕微鏡に通じる四バイアス、四孔絞り、高分解能後方散乱、長ライニング管などの*設計を有する。

製品詳細

日立走査電子顕微鏡SU 1510

製品紹介：

精巧化設計を採用し、同類設備の解像度と配置と同じ場合、体積を20%削減し、空間を節約し、二次電子と後方散乱検出器を標準配置し、形態とライニングを容易にすると同時に観察しやすく、日立タングステンフィラメント電子顕微鏡に通じる四バイアス電圧、四孔絞り、高分解能後方散乱、長ライニング管などの*設計を有する。

本体の幅はわずか55 cmで、小型で3.0 nmの解像度を持つ高性能可変圧力走査電子顕微鏡。

日立走査電子顕微鏡SU 1510の主な特徴：

1、計器本体は過去より20%減少し、設置場所をより自由に選択することができる。

2、標準配置の低真空機能、非導電に対して無塗装観察を行うことができる。高低真空変換ワンタッチで完了。

3、サンプル台はzui大径153 mm、高さ60 mm（WD=15 mm）のサンプルを積載し、EDX分析を行うことができる。

4、強力なマウス制御機能、電子顕微鏡のすべての操作を実現することができる。

5、分子ポンプ真空システム、清潔で汚染がない。

技術パラメータ：

二次電子分解能	3.0 nm（高真空、30 kV）
後方散乱電子分解能	4.0 nm（低真空：60 Pa、30 kV）
倍率	5～30000倍
かそくでんあつ	0.3〜30 kV
サンプルテーブル	X 0〜80mm Y 0〜40mm Z 5〜50mm T -20〜80mm R 360°
サンプルプラットフォーム制御	手動（オプション：2軸モータ）
zui大積載サンプルサイズ	直径：153 mm
zui大観察範囲	直径：126 mm（XYR併用）
zui大サンプル高さ	60mm（WD=15mm）
低真空域	6-270 Pa（メニューから設定）
フィラメント	プレペアタングステンフィラメント
対物レンズ絞り	4穴可変絞り
じゅうバイアス	固定比例バイアス、手動バイアス、自動4バイアス
検出器	二次電子検出器、高感度半導体後方散乱電子検出器
EDX解析位置	WD=15mm、TOA=35°
しんくうシステム	分子ポンプ1台、機械ポンプ1台
安全対策	停電、漏電、自動保護

応用分野：

半導体

生物

こうぶんし

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