磁気光学Kerr（MOKE）効果測定システム

磁気光学Kerr（MOKE）効果測定システム

一束の直線偏光光が磁性媒体で反射されると、反射光の偏光面は入射光の偏光面に対して小さな角度偏向（Kerr回転角）を持ち、この現象は磁気光Kerr効果と呼ばれる。その後、この効果は材料の磁気特性の研究に用いられた。磁気光学Kerr効果測定システムはKerrの回転角を正確に測定する装置である。磁気光学Kerr効果測定システムは極方向Kerr効果と縦方向Kerr効果のKerr偏向角を正確に測定する装置であり、この装置を磁性薄膜の磁気特性を研究する測定ツールにする。磁性ナノテクノロジー、磁性薄膜などの磁気学分野に広く応用されている。

磁気光学Kerr効果測定システムはレーザーを光源とし、試料の磁気光学Kerr効果の磁気信号は主にスポット照射の領域から来ているため、磁気光学Kerr効果測定システムは良好な局所性を有し、ミクロン領域内の材料磁気特性の研究を実現することができる。また偏光レーザービームを「プローブ」としているので、サンプルに損傷を与えることなく、サンプルに対する損失のない測定を実現することができ、複数回の測定が必要なサンプルにとって非常に有利である。

磁気光学Kerr効果測定システム*の感度を持ち、Kerr回転角の検出精度は±0.001度です。この点はこの装置を磁性薄膜の磁気特性の研究において重要な地位を持たせる。フェライトコア電磁特による印加磁場の発生により、ガンダムを提供することができる25KOeの印加磁場を使用します。

磁気光学Kerr（MOKE）効果測定システム

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上海昊量光電設備有限公司の磁気光Kerr測定システムは主に以下の3種類に分けることができる：

①極方向測定磁気光学Kerr効果測定装置（MOKEヒステリシスループ測定システム）

代表的な製品はBH-810シリーズです。BH-810 CPC 25 WF 12磁気光学Kerr効果（MOKE）測定装置はその1つで、主に12インチの垂直磁気記録媒体の磁気特性の測定である。408 nmの固体レーザを使用し、スポット径が1 mm、印加磁場が25 KOeに達する408 nmの固体レーザを用いて、各プローブポイントのヒステリシスループを正確にプローブ分析することができる。

②測定磁気光学Kerr効果測定装置（MOKEヒステリシスループ測定システム）

代表製品BH-618シリーズ。BH-618 SK-CA 12はウェハの磁気特性と異方性を自動的に測定する磁気光学Kerr測定システムである。12インチのウエハに対して最大400個の異なる点のヒステリシスループの測定を行うことができ、検出結果はイメージングの形で表示される。

③ミクロ領域磁気光学Kerr効果測定システム（米-Kerrシステム）（極方向+縦方向、MOKEヒステリシスループ測定システム）

代表製品はBH-920シリーズ。前の2つの製品と比べて、BH-920シリーズはより小さなレーザースポットを持ち、ミクロン領域内の磁気特性を研究することができる。BH-P920-NHは、感度が*0.001°。とBH-P920-NH比べるBH-PI920同じ検出感度を備えているだけでなく、極方向と縦方向の測定を兼ねている。

磁気光学Kerr（MOKE）効果測定システム

u主な特徴

• 高性能
• 低コスト
• 高感度（0.001°）
• 高い安定性
• 高印加磁場（25KOe）

u主な用途

磁性ナノテクノロジー、磁性薄膜、磁性材料などの磁気分野

u測定項目

u製品の主なパラメータ：