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emkete@emcrafts.com.cn
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アドレス
北京市海淀区安寧荘西路9号院25号棟
白金瑞達(北京)科技有限公司
emkete@emcrafts.com.cn
北京市海淀区安寧荘西路9号院25号棟
基礎パラメータ
タイプ/使用:真空(SEM、部分真空、不活性ガス)中、空気中
主なインデントモード:真のシフト
テストプロトコルの適応性:カスタマイズ可能なソフトウェア
アップグレードオプション/拡張機能:高温および超高ひずみ率モジュール
インデント
インデントのヒント:Berkovich、Cube Corner、Flattop、Wedge、Sphericalなど
インデント範囲:40μm
変位ノイズ底:<1 nm
負荷範囲:500 mN標準/オプション1.5 N
ローディングベースノイズ:4μN/12μN RMSノイズ
洞状モード:200 Hzの変位モード
打痕の概要:オペレータは任意の輪郭(変位または荷重)を自由に定義できます
サンプルの上揃え
圧子先端遠隔方法:22 mm範囲、1 nm分解能(閉ループ)
自動接近モード:数ミリを超える
サンプリング位置範囲:26 x 26 mm、1 nm分解能(閉ループ)
打痕面積(推奨)10 x 10 mm
室温でのドリフト:5 nm/min(真空中)
超高ひずみ率モジュール
ひずみ率:3000 s-1
洞状モード:開環10 kHz
起動範囲:1μm
測定範囲:1 N
ローディングバックグラウンドノイズ:30μN RMSノイズ
高温モジュール
高温範囲:標準600℃/オプション800℃
600℃でのドリフト:10 nm/min
600℃での安定時間:<3時間
圧子先端材料:ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、サファイア、炭化タングステンなど
温度安定性:10 mK分解能