負圧真空ポンプ

ルーツ真空ポンプ（略称：ルーツポンプ）とは、ポンプ内に2つの反対方向に同期回転するブレードロータが搭載され、ロータ間、ロータとポンプハウジング内壁との間に微細な隙間があり、互いに接触しない可変容量真空ポンプを指す。

ルーツ真空ポンプは石油、化学工業、プラスチック、農薬、タービンロータの動平衡、航空宇宙空間のシミュレーションなどの装置で長期運行の試練を受けたので、国内で大いに普及し、応用すべきである。同時に石油、化学工業、冶金、紡績などの工業にも広く使われている。真空ポンプアセンブリは真空ポンプ消音器として、真空ポンプの騒音対策に用いられる。

ルーツ真空ポンプの特徴は：起動が速く、消費電力が少なく、運転維持費用が低く、抽気速度が大きく、効率が高く、抽気ガスに含まれる少量の水蒸気とほこりに敏感ではなく、100 ~ 1パ圧力の範囲内に大きな抽気速度があり、突然放出されたガスを迅速に排除することができる。この圧力範囲はちょうどオイルシール式機械真空ポンプと拡散ポンプの間にある。そのため、中間圧力範囲の抽気量を高めるために、拡散ポンプとオイルシール機械真空ポンプとの間に直列に接続されることが多い。この場合は機械増圧ポンプとも呼ばれます。