パルスレーザ蒸着システム

製品説明：パルスレーザ蒸着システムのオンライン注文

パルスレーザ蒸着システム
（パルスレーザー沉積システム）
原産国：アメリカ
PLDパルスレーザ蒸着システムの紹介：
PLDは、パルスレーザ光を合成石英窓を透過して真空チャンバ内に導入して成膜ターゲットに照射し、ターゲットが照射された後に高密度エネルギーを吸収して形成されるplume状プラズマ状態であり、その後、対向する基板上に堆積されて成膜される。PLD法は熱力学理論上の準安定状態の組成と構造を有する人工合成新材料を得ることができる。


我が社のPLDシステムは性能価格比、具体的な技術パラメータ配置を持っている：
1.ターゲット：数量6個、大きさ1-2インチ、レーザー照射時に自動回転でき、ターゲットの選択はステッピングモーターによって制御でき、
2.基板：酸素環境に適した白金加熱シートを採用し、大きさは2インチ、加熱温度は1200℃に達することができ、温度差は<3%で、加熱時に基板は回転でき、動作環境圧力は300 mtorrである、
3.基板加熱電源、1200度まで；
4.超高真空成膜室空洞：ステンレス鋼sus 304材質、内面電解研磨、下地真空度<5 e-8 pa ;
5.サンプル搬送室：ステンレス鋼sus 304材質、内面電解研磨、本底真空度<5 e-5 pa ;
6.排気システム：分子ポンプと乾式機械ポンプ、
7.バルブ：超高真空バッフルバルブを採用する、
8.真空検査：真空計、
9.ガス路2セット：ガス流量計を用いて制御する、
10.薄膜成長監視システム：走査型差分RHEEDを採用する、
11.監視ソフトウェアシステム：基板温度の監視と設定、基板とターゲットの回転、ターゲットの交換など、
12.各種電流導入及び測温端子、
13.その他の各種構造：各種超高真空シフトテーブル、磁気伝達ロッド、超高真空フランジ、超高真空シールワッシャ、超高真空用ベローズなど、

ユーザーは研究レベルの高性能な純輸入PLDシステムを最小限のお金で購入する。