石英結晶モニタ

石英結晶モニタ

薄膜蒸着速度と膜層厚の測定において、INFICONの新型Q−podTMセンサーは外観が小さく、コストが安く、測定が正確なソリューションです。その設置と操作は非常に簡便で、Q-pod測定器の一端をBNCケーブルを通じてQCMセンサプローブに接続し、他端を標準的なUSBインタフェースでパソコンに接続すればよく、発振器や電源を別に接続する必要はない。そして、私たちが無料で提供しているQ-podソフトウェアをインストールして作業を始めました。Q−podソフトウェアは、堆積速度、膜厚、周波数、ウエハの使用寿命及び堆積速度及びめっき時間の相対グラフを表示することができ、同時に8ウェイのQ−pod信号を監視することができる。Q-podの読数はコンピュータハードディスクのデータテーブルに記録することができ、読数間はカンマで区切られており、いつでも検索することができます。

標準Q-podシステム構成： -podモニタボックス\\\センサプローブ\\\\1インチボルトフランジ\\\\ウェハー、10枚

石英結晶モニタ

製品特徴：

◆従来のQCMのようなパフォーマンスを備えた、より小型で低コスト

◆USBインタフェースを通じて、コンピュータに直接接続できる場合、8つのQ-podモニタを同時に接続することをサポートする

◆Windowsベースウィンドウのソフトウェア（操作やデータ記録を含む）

◆重量が2オンス未満（1オンス＝28.35 g）、上着のポケットに簡単に入れられる

Q-POD-ソフトウェア：

右側のダイアログボックスには、Q-pod接続を含むソフトウェアの主な設定と操作インタフェースが表示されます。このソフトウェアは8つのQ-pod接続を同時にサポートすることができ、各Q-podにはUSBインタフェースが必要です。

Q-POD-シンプルなQCMシステム：

右側のシステム構造図は典型的な薄膜堆積システムを示している。

完全なQ-podシステムには、Q-pod監視ボックス、センサープローブ、接続フランジ、コンピュータが含まれています。

性能パラメータ

注文情報