英国レニサウRLD 10差分干渉計

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モデル

メーカーの性質: 生産者

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原産地

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概要

英国のレニサウRLD 10差分干渉計$r$nRLD 10差分干渉計$r$n差分干渉計は、定義基準オブジェクトに対する測定の位置変化を可能にする。

製品詳細

RLD 10差分干渉計

差動干渉計により、定義された基準オブジェクトに対する測定の位置変化が可能になります。

差動発光ヘッドは*の光学設計を有し、極めて低いSDE性能を実現することができる。内蔵のレーザーコリメート補助ミラーは、設定中にピッチとねじれ角度の調整を実現し、コリメートプロセスを改善することができる（平面ミラー用途にのみ適している）。

RLD 10−X 3−DIエミッタヘッドは、簡単な3ピン固定フレームを介して作業室の外壁に取り付けることができる。作業室に入る必要がなく、光路を補正することができ、内蔵レーザコリメート補助ミラーは参照と測定ビームのピッチとねじれを独立に調整することができ、設置システムの設計は発射ヘッドの取り外しと発射ヘッド位置の調整を可能にし、システムコリメートに与える影響は極めて小さい。

特性と利点

優れた測定性能−ppb周波数安定精度、超低周期誤差、出力分解能は38.6 pmに達した。
差分配置-設置ポストに対する運動プラットフォームの変位を測定し、環境変動に関連する作業領域側壁の移動など、一般的なモード誤差を解消します。
高速調整コリメート-4つの内蔵レーザーコリメート補助ミラーを採用し、真空チャンバとミラーセットの設置公差を解消するために、真空チャンバの外部でコリメート調整を簡単に行う。

仕様

じくストローク	0 m - 1 m
解像度（RLU構成を使用）	アナログ直交＝λ／4（158 nm）数値直交＝10 nm RPI 20分解能=38.6 pm
システム非線形誤差（SDE）インタフェースなし	50 mm/sec未満で信号強度>70%の場合<±1 nm 1 m/secかつ信号強度＞50%の場合<±6 nm
速度	最大1 m/s

一般的には、差動干渉計エミッタを構成するためにレニサウRLU 20が使用される。RLU 20レーザ源の高安定性と差動干渉計発射ヘッドの高性能を結合することは、真空チャンバと他の空調厳格制御環境における応用の理想的な選択になるに違いない。

英国レニサウRLD 10差分干渉計

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