Scios 2 DualBeam FIBデュアルビームミラー

Thermo Scientific Scios 2 DualBeamは高分解能分析システムであり、磁気および非導電性材料を含む幅広いタイプのサンプルに優れたサンプル調製と3次元特性評価性能を提供することができる。Scios 2 DualBeamシステムの機能設計は、サンプル処理能力、分析精度、使いやすさを最適化し、科学者とエンジニアが学術と工業環境の中で研究と分析を行うことを満たす理想的なソリューションである。

Scios 2 DualBeamは、さまざまな材料の高分解能S/TEMサンプルを迅速かつ容易に位置決めすることができる。システムにはThermo Scientific Auto Slice&Viewソフトウェアが搭載されており、多種類の3次元情報を高品質かつ全自動で収集することができる。STEMモードで構造情報を30 kVで取得するか、低いエネルギーでサンプル表面から無荷電情報を取得するかにかかわらず、システムは広い動作条件下で優れたナノスケールの詳細を提供することができる。Scios 2 DualBeamはすべての経験レベルのユーザーが迅速かつ容易に高品質で繰り返し可能な結果を得るのを助けることができ、また、システムは材料科学に挑戦する材料ミクロキャラクタリゼーションの需要のために設計され、全集合化、極高速MEMSホットテーブルを装備し、真の環境に近い作業条件の下でサンプルキャラクタリゼーションを行うことができる。

発射源：高安定型ショットキー電界発射電子銃

解像度
☆とてもいい仕事の距離で
☆ 30 keV下STEM 0.8nm
☆ 1 keV下1.6 nm
☆1 keVにおける電子ビーム減速モード1.4 nm

電子ビームパラメータ：
☆プローブ電流範囲：1 pA ~ 400 nA
☆加速電圧範囲：200 V ~ 30 kV
☆着陸電圧範囲：20 eV ~ 30 keV
☆大水平視野幅：7 mm WDで3 mm、60 mm WDで7.0 nm
☆モンタージュ機能をナビゲートすることで、視野幅をさらに大きくすることができます

イオン光学：
大ビーム流Sidewinderイオン鏡筒
加速電圧範囲：500 V ~ 30 kV
イオンビーム流範囲：1.5 pA ~ 65 nA
15アパーチャ
標準配置非導電試料ドリフト抑制モード
イオン源の寿命は少なくとも1000時間
イオンビーム分解能30 kVで3.0 nm

サンプル室：
☆電子ビームとイオンビームの一致点は分析動作距離（SEM 7 mm）
☆ポート：21個
☆内幅：379 mm

サンプル台：柔軟五軸電動サンプル台
☆XY範囲：110 mm
☆Z範囲：65 mm
☆回転：360°連続
☆傾斜：-15°〜+90°
☆XY繰返し精度：3μm
☆zui大サンプルサイズ、直径110 mm、X、Y軸に沿って完全に回転可能な場合
☆zui大サンプル高さ、優中心点から85 mm間隔
☆zui大サンプル質量5 kg（サンプルホルダー含む）
☆同心回転と傾斜

サンプルホルダー：
☆標準多機能サンプルホルダー、独特な方法でサンプル台に直接取り付け、18個の標準サンプルホルダー（φ12 mm）、3個の予備傾斜サンプルホルダー、2個の垂直と2個の予備傾斜側排ホルダー（38°と90°）を収容でき、サンプル取り付けに工具が必要ない
☆オプションの測定トレイごとに6つのS/TEM銅網を収容可能
☆各種ウェハとカスタマイズサンプルホルダーは必要に応じて提供可能（オプション）
検出器システム：最大4種類の信号を同期検出可能
☆試料室二次電子検出器ETD
☆鏡筒内後方散乱電子検出器T 1
☆鏡筒内二次電子検出器T 2
☆鏡筒内二次電子検出器T 3（オプション）
☆IR-CCD赤外線カメラ（試料台高さ観察）
☆画像ナビゲーションカラー光学カメラNav-Cam+™
☆高性能イオン変換と電子検出器ICE
☆スケーラブル低電圧、高ライニング、分割固体後方散乱検出器DBS
☆電子ビーム流測定

制御システム：
☆64ビットオペレーティングシステム、キーボード、光学マウス
☆画像表示：24インチLCDディスプレイ、高表示解像度1920×1200
☆ユーザーがカスタマイズしたGUIをサポートし、4枚の画像を同時にリアルタイムに表示できる
☆ローカル言語サポート
多機能ダッシュボードとジョイスティック（オプション）

特徴と用途：
☆Sidewinder HTイオン鏡筒を用いて高品質、位置決めTEM及び原子プローブ試料を迅速、簡便に製造する、
☆Thermo Scientific NICOL電子鏡筒は高分解能イメージングができ、幅広いタイプのサンプルのイメージングニーズを満たす、
☆各種集積化鏡筒内及び極靴下検出器、良質、鋭利、無荷電画像を収集し、完全なサンプル情報を提供する、
☆ASV 4ソフトウェアを選択可能で、関心のある領域を正確に位置付けし、良質、多モード内部と三次元情報を取得する、
☆高度に柔軟な110 mmサンプル台と内蔵されたThermo Scientific Nav-Camカメラで正確なサンプルナビゲーションを実現する、
☆専用のDCFIドリフト抑制技術とThermo Scientific SmartScanなどのモードによるアーティファクトレスイメージングとグラフィック加工の実現、
☆柔軟なDualBeam構成、最適化ソリューションは特定のアプリケーション要件を満たす。