国産初の商用高分解能グロー放電質量分析計の納入に成功

西安交通大学電気工学院の質量分析器チームが先導して開発した「第14次5カ年計画」の国家重点研究開発計画「基礎科学研究条件と重大科学機器研究開発特別プロジェクト」の成果である高分解能グロー放電質量分析計（型番：Sparkle）のユーザー引き渡しがこのほど完了し、我が国のハイエンド科学機器の国産化プロセスが重要な突破を遂げたことを示した。

グロー放電質量分析計は固体材料を探査する「超顕微鏡」である。チップ製造などのハイエンド産業では、基板材料に微量不純物が混入しても、格子欠陥を引き起こし、チップ全体の失効を招く可能性がある。グロー放電質量分析計はppt（兆分の1）レベルまでの超高微量検出限界を備え、超高純材料不純物の正確な定量を実現するために不可欠なハイエンド精密機器である。

従来、グロー放電質量分析計は輸入に完全に依存しており、購入と修理のコストは極めて高かった。今回の商業化の着地は、科学メタテストなどの国内検査機構と関連企業の設備が人に制される肝心な痛みを直接解決し、国内材料検査機構の設備購入と運行維持コストを大幅に下げ、高純度材料、集積回路材料などの肝心な製品の品質検査効率を高め、企業が技術的ボトルネックを突破するのを助けた、自主的に制御可能な検査装備を通じて、我が国の戦略材料分野におけるサプライチェーンの安全とデータの安全を保障し、ハイエンド製造、新エネルギー、航空宇宙などの産業に堅固な技術サポートを提供した。

今回納入された商用モデルは、機械全体の調整を経て、その豊さ、感度など10以上のコア重要指標が一度に検収に合格した。設備の現場運行が安定し、データの出が速く、測定精度が完全に基準を達成し、使用フィードバックが優れ、国産グロー放電質量分析計の信頼性と環境適応性を十分に検証した。

Sparkle型グロー放電質量分析計は西安交通大学が先頭に立って難関を突破し、西北核技術研究院、坤元計器（天津）有限公司、北方工業大学、中国科学院上海珪酸塩所、鋼研ナック測定技術株式会社、中国計量科学研究院、国際共通テスト評価認証株式会社などの部門と共同で計器整機研究開発、工程化産業化、固体標準物質の開発と分析方法の開発を展開し、実現した重要部品の100%国産化，キーテクノロジー100%自律的に制御可能，性能指標が国際先進水準に、我が国の集積回路材料分野の微量不純物検査能力を全面的に賦与し、産業の自主的な制御可能な防御線を構築し、国外の技術封鎖を徹底的に打破した。