CNCニコン顕微鏡1 pm高分解能光干渉

ニコン傘下のNIKON INSTECH社（本社：東京）は、高解像度1 pmの光干渉顕微鏡システム「BW-M 7000」（図1）を発売する。このシステムは、高度範囲がサブナノメートル級からミリ級までの表面性状（材料の表面パターン及び粗さ、表面上の微小落差など）を高速かつ高精度に測定することができる。

表面性状測定はニコンが独自開発した方式である「FVWLI（Focus Variation with White Light Interferometry）法」を用いた。この方法は、対象材料の表面に干渉縞を生成させ、各画素の焦点位置を高精度に決定することができる。このようにすることにより、2.5倍（視野4.4×4.4 mm）〜100倍（視野111.0×110.0μm）のすべての倍率で、3次元演算平均高さ（Sa）が0.1 nmレベルの表面性状評価を実現することができる。超平滑表面から粗面までを単一モードで測定でき、光学フィルターなどの部品を交換する必要がない。また、膜厚測定にはスペクトル干渉法を用いた。厚さ1 nm〜40μmの透明フィルムの厚さを0.1秒未満の時間で測定することができる。

プログラム制御手段により全自動測定を実現することができ、合焦、サンプルの傾斜調整、合否判断などの操作を自動的に実施することができる。複数の視野を自動的に測定することができ、材料の開発現場のほか、品質管理や現場にも簡単に使用することができます。

CNCニコン顕微鏡BW-M 7000顕微鏡はストローク300×300 mmの電動XY軸ステージと、ストローク200 mmの電動Z軸ズームステージを備えている。測定可能な半導体、LED、フィルム材料、高分子材料、精密機械加工部品などの多種のサンプル（図2、図3）。ドリル*の表面形状を測定する際には、治具を用いてその直立固定状態を保持することができる。