レーザ共焦点顕微鏡

μsurf explorer精密測定、表面分析システム
μsurfシリーズ製品は多孔質共焦点技術を採用し、CCDの映像取り込みを結合し、検出器の穴の代わりに多数の穴のある回転盤を用い、さらに対物レンズを垂直に移動させ、断層撮影のような方式で、短時間（約数秒）内に物体の3次元データを正確に測定することができる。その測定方式は非接触式であり、サンプルの表面を破壊せず、真空環境下で測定する必要はなく、顕微鏡で測定する機能でサンプルを観測することもでき、過酷な作業環境下でも、正常に使用することができる。共焦点化の方法を使用したため、グラデーションの大きい高さを測定する場合、他の方法と比べて、物体の高さをより正確に測定し、3 D立体映像を構築することができ、優位性はかなり明らかである。

NanoFocusμsurf explorer精密測定、表面分析システムのテーブル機能が完備し、構造がコンパクトで、性価格比が高く、そして超高光学分解能とzui全面的に広範な三次元表面形態分析能力を持っている。

レーザ共焦点顕微鏡アプリ
μsurfシリーズは表面物理形態を測定し、3 D表面形態、2 Dの奥行き形態、輪郭（奥行き、幅、曲率、角度）、表面粗さなどのマイクロナノスケールの3次元形態分析を行うために用いられる。
精密部品：表面摩耗、表面粗さ、表面微細構造に要求のある部品、例えばエンジンシリンダー、ナイフエッジなどを検査する、
生命科学：stentsステント上のめっき層の厚さなどを測定する
マイクロ電子機械システム：マイクロデバイスの検出、医薬工学における組織構造の検出、例えば遺伝子チップなど
半導体：マイクロ電子システムの検出、パッケージ及び補助製品の構造設計
太陽エネルギー：電池セルグリッド線の3 D形態特徴づけ、アスペクト比測定、製毛後の3 D形態特徴づけ（単結晶ピラミッドの大きさ、数、角度、多結晶腐食ピットの形態、密度）、粗さ分析など
紙：紙、貨幣表面の3次元形状測定

レーザ共焦点顕微鏡技術仕様
LED光源：λ＝505 nm、MTBF：50000 h
測定時間：5～10秒
測定原理：非接触、共焦点
X/Y方向、プラットフォーム移動範囲：50 mmX 50 mm、モータ駆動、解像度：0.3μm
Z方向測定範囲：250μm、分解能：2 nm
対物レンズ：10 X、20 X、50 X、100 X（オプション）
コンピュータ：高性能コンピュータ制御システム、機能全面的なソフトウェア、連結機能があり、
動作電源：100-240 V、50-60 Hz、input<45 W
材質：鉄鋼、ゴム、大理石
外形寸法：710 x 270 x 330 mm（HxD）
重量：28 KG
クリーンルームレベル：Capability class 6（according to DIN EN ISO 14644）

主な会社：，全自動イメージャ