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メール
kejing@sykejing.com
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電話番号
18624331856,18624331865,18624331992,18624331806,18
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アドレス
瀋陽市渾南新区学風路26-2-7号、精密機器工業園
瀋陽科晶自動化設備有限公司
概要
EQ−TM 106膜厚モニタは石英結晶の発振原理を用いて、＊の周波数測定技術を結合して、膜厚のオンラインモニタリングを行う。主にMBE、OLED熱蒸発、マグネトロンスパッタリングなどの設備の薄膜製造過程に応用し、膜層の厚さとめっき速度をリアルタイムに監視するために使用する。
製品詳細
EQ-TM 106膜厚モニタ石英結晶の発振原理を用いた、結合*の周波数測定技術，膜厚のオンラインモニタリングを行う。主に応用いてMBE、OLED熱蒸発、マグネトロンスパッタリングなどの設備のフィルム製造中，用いて対膜層厚及びめっき速度リアルタイムで実行監視。EQ-TM 106膜厚モニタに基づいて薄膜を製造するためのリアルタイムレートで出力可能PWM の（パルス幅変調）アナログ量、として膜厚センサーを使用し、調節器と蒸発電源と協力して蒸発源の閉ループ速度制御を実現するを用いて調製するフィルムの厚みを検出する。EQ-TM 106膜厚モニタコンパクトな体積で実験室のスペースを節約でき、原理が簡単で、操作が便利で、特に実験室における薄膜製造過程の使用に適している。
製品名称 |
EQ-TM 106膜厚モニタ |
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製品型番 |
EQ-TM106型 |
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主な特徴 |
1、本機コンピュータに接続可能。 2、ディスプレイ持つインターフェース簡潔、直感的、合理的、操作が便利で迅速などの利点があり、測定した膜厚、速度、周波数、PWM の出力のパーセンテージなどの動作状態の制御。 3、ソフトウェアまたはディスプレイを通じて、ゲート制御時間、出力方式、レートアルゴリズム、材料パラメータ、出力レンジ、通信パラメータなどを設定し、測定した関連データを書き込むことができるエクセルファイル。 4、体積が非常に小さく、測定精度が高く、操作が簡単で、使いやすいなどの利点がある。 |
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技術仕様 |
EQ-TM 106-1監視コンポーネント 1、電源：DC 5 V（±10%），大電流400mA 2、周波数分解能：±0.03Hz の 3、膜厚分解能：0.0136Å（アルミニウム） 4、膜厚精度：±0.5%、プロセス条件、特にセンサの位置、材料応力、温度、密度に依存する 5、測定速度：100 ms-1s/次，設定可能 6、測定範囲：500000Å（アルミニウム） 7、標準センサー結晶：6 MHz 8、コンピュータインタフェース：RS-232/485シリアルインタフェース（ボーレート1200、2400、4800、9600、19200、38400は設定可能，データビット：8，ストップビット：1，検証：無） 9、アナログ出力：8ビット分解能，PWMパルス幅変調出力（コレクタ開放または内部5 V出力） 10、作業環境：温度0-50℃、湿度5%-85%RH、凝縮水滴があってはならない 11、外形寸法：90 mm×50mm×18ミリメートル |
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EQ-TM 106-2ディスプレイ 1、入力電源：AC 220 V±10% 2、出力電源：DC 5 V 3 A 3、ディスプレイ：12×2デジタル管とLED の 4、通信ポート：RS-485（ボーレート1200、2400、4800、9600、19200、38400可設定、データビット：8ビット，ストップビット：1ビット，パリティ検査：無） 5、外形寸法：182 mm×65mm×160ミリメートル | |||
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EQ−TM 106−3プローブ 1、適用ウェハ周波数：6 MHz 2、適用ウェハサイズ：Ø14ミリメートル 3、取付フランジ：CF 35 4、冷却水管：Ø3mm、長さ300 mm500mm、1000mm 5、冷却水圧：＜0.3 MPa 6、エアダンパダクト：Ø3mm 7、圧縮空気圧力：＜0.8 MPa、> 0.5MPa 8、ベーキング温度：通水状態＜200℃、不通状態フランジ＜100℃ 9、電気インタフェース：BCNコンセント | |||
標準部品 |
1 |
EQ-TM 106-1監視コンポーネント |
1つ |
2 |
EQ-TM 106-2ディスプレイ |
1台 |
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3 |
EQ−TM 106−3プローブ |
1つ |
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