ME−L全自動高精度ミュラー行列型偏光解析器

製品型番

ME−L全自動高精度ミュラー行列型偏光解析器

主な特徴

1、重水素ランプとハロゲンランプの複合光源を採用し、スペクトルは紫外から近赤外範囲（193-2500 nm）をカバーする

2、ミュラー行列データ処理を実現でき、測定情報量がより大きく、測定速度が速く、データがより正確である

3、二回転補償器の配置に基づいて、一度に測定してすべてのミュラー行列の16個の元素を得ることができ、伝統的なスペクトル偏光解析器に比べてより豊富で全面的な測定情報を得ることができる

4、広いスペクトル範囲内で、良質で安定した各バンドスペクトルを提供することを確保する

5、数百種類の材料データベース、多種のアルゴリズムモデルライブラリ、現在のほとんどの光電材料をカバー

6、集積によるナノ格子の分析、同時に測定分析可能なナノ構造周期、線幅、線高、側壁角、粗さなどの幾何形状情報

技術仕様

1、応用：科学研究級/企業級

2、基本機能：Psi/Delta、R/T、ミュラー行列などのスペクトル

3、分析スペクトル：380-1000 nm（210-1650 nmまでサポート拡張）

4、一回の測定時間：1-8 s

5、繰り返し性測定精度：0.005 nm

6、精度（直通測定空気）

偏光解析パラメータ：ψ＝45±0.05°△＝0±0.1°

ミュラー行列：対角元素m=1±0.005、非対角元素m=0±0.005

7、スポットの大きさ：大スポット2-3 mm、微細スポット200μm

オプションの構成

バンド選択

V:380-1000nm

紫外線：245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度選択

自動：45-90°

手動：55～75°（5°ステップ）、90°

固定：65°

その他の選択

Mapping選択：100×100 mm（参考、オンデマンドカスタマイズ）

温度制御台：室温一600 C（参考用、必要に応じてカスタマイズ）

オプション部品

1

おんどせいぎょだい

2

Mapping拡張モジュール

3

真空ポンプ

4

透過吸着モジュール