NanoFocus三次元形態輪郭計

NanoFocusμsurfシリーズ三次元形態輪郭計多孔質共焦点技術を用いて、CCDの画像取り込みを結合して、検出器の穴の代わりに多数の穴のある回転ディスクを用いて、更に対物レンズを垂直に移動して、断層撮影のような方式で、短時間（約数秒）内に物体の三次元データを正確に測定することができる。その測定方式は非接触式であり、サンプルの表面を破壊せず、真空環境下で測定する必要はなく、顕微鏡で測定する機能でサンプルを観測することもでき、過酷な作業環境下でも、正常に使用することができる。共焦点化の方法を使用したため、グラデーションの大きい高さを測定する場合、他の方法と比べて、物体の高さをより正確に測定し、3 D立体映像を構築することができ、優位性はかなり明らかである。

μsurfシリーズ三次元形態輪郭計アプリ
μsurfシリーズは表面物理形態を測定し、3 D表面形態、2 Dの奥行き形態、輪郭（奥行き、幅、曲率、角度）、表面粗さなどのマイクロナノスケールの3次元形態分析を行うために用いられる。
精密部品：表面摩耗、表面粗さ、表面微細構造に要求のある部品、例えばエンジンシリンダー、ナイフエッジなどを検査する、
生命科学：stentsステント上のめっき層の厚さなどを測定する
マイクロ電子機械システム：マイクロデバイスの検出、医薬工学における組織構造の検出、例えば遺伝子チップなど
半導体：マイクロ電子システムの検出、パッケージ及び補助製品の構造設計
太陽エネルギー：太陽電池シートグリッド線の3 D形態特徴づけ、アスペクト比測定、製毛後の3 D形態特徴づけ（単結晶ピラミッドの大きさ、数、角度、多結晶腐食ピットの形態、密度）、粗さ分析など
紙：紙、貨幣表面の3次元形状測定
LED：サファイア基板の測定、PSS ICP抜取検査後のWAFERの3 D形態

μsurfシリーズ技術仕様
LED光源：λ＝505 nm、MTBF：50000 h
測定時間：2 ~ 10秒
測定原理：非接触、共焦点
X/Y方向：プラットフォーム移動範囲：100 mmX 100 mm/200 mmX 200 mm/300 mmX 300 mm（サイズオプション）、モータ駆動、X/Y方向解像度：0.3μm
Z方向測定範囲：350μm、Z方向分解能：＜1 nm
対物レンズ：10 X、20 X、50 X、100 X（オプション）
軸外カメラ（10 X）、zui大視野8 x 6 mm 2（オプション）
コンピュータ：高性能コンピュータ制御システム、強力で全面的なソフトウェア、結合機能がある
専門作業台を備えている：サイズ1550 x 800 x 750 mm（LxH）
動作電源：100-240 V、50-60 Hz、input：550 VA
材質：鉄鋼、ゴム、大理石
重量：約150 KG+80 KG
クリーンルームレベル：Capability class 6（according to DIN EN ISO 14644）